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非常好奇光刻机是怎么对着几纳米进行位移校对

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这光刻机器是怎么对着几纳米进行校准,来多次光刻,即使对上了,花的时间也很长。感觉这样效率太低,成功率也低,即使12寸,效率也低。而芯片厂,每年初货量又很大,顶级光刻机每年产量也少。总觉得是在误导别人。


1楼2018-04-30 18:29回复
    光刻机和蚀刻机还是独立两台机器,也就是说,移动是不可避免的。


    2楼2018-04-30 18:32
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