E051002 伺服释放状态。
[原因]
因为解除伺服锁定(LOCK)，不能移动轴。
[解决]
请单击＜SERVO FREE＞开关，恢复伺服锁定状态。
E051003 没有输入字符。
[原因]
确定输入时，发现没有输入字符。
[解决]
请输入字符。
E051004 被选设备尚未安装，请重新选择其它设备。
[原因]
因为HOD选择的设备没有被安装(在MS参数选项上没有被设置)，所以不能进入示教状态。
[解决]
请选择已经安装好的设备。
E051005 被选设备不能移到目标位置，请重新选择其它设备。
[原因]
因为HOD选择的设备不能移到目标位置，所以不能进入示教状态。
[解决]
请重新选择可用设备。
E051006 标记识别错误。错误代码：
[原因]
用图像设备(OCC或VCS)识别标记时发生的错误。
若窗口上没有标记，则出现错误。
若标记为不发光的标记，而且没打开摄像机照明，则出现错误。
若标记为发光的标记，而且没关闭摄像机照明，则出现错误。
调整摄像机焦点、照明亮度时有问题，也会出现错误。
[解决]
请检查识别条件是否正确。
请检查摄像机焦点，照明亮度等。
检查条件或进行调整后，还发生错误的话，可以考虑图象设备出问题。请检查图象设备。
E051007 缩放比例设置失败。错误代码：
[原因]
用图像设备的OCC或VCS摄像机的缩放比例设置中发生异常。
[解决]
请检查被检测出的缩放比例。
如果检测出的缩放比例超过设置值的 ±10% ，则图像设备不接受检测值，因此显示错误。
如果不能识别好两个标记时，请检查焦点，照明亮度等。
检查条件或进行调整后，还发生错误的话，可以考虑图象设备出问题。请检查图象设备。
E051008 传送初始化失败，中断原点返回。错误代码:
[原因]
传送初始化发生错误。
[解决]
重新启动系统，确认是否运行正常。
E051009 没有完成基板宽度的返回原点，请执行返回原点后再运行。
[原因]
没有完成基板宽度的返回原点。
[解决]
请运行基板宽度调整的初始化后，再试一次。
E051010 发现搬运轨道上存在基板。
[原因]
传送通道上有基板，不能运行[自动调整基板宽度]时，显示此信息。
[解决]
请取下基板后，重新运行。
Q052001 没有执行返回原点，是否进行返回原点？
[原因]
未完成原点返回，是否执行原点返回的询问。
[解决]
若选择[是]，则执行原点返回后继续处理。
若选择[否]，则不执行原点返回后继续处理。
Q052002 正在运行中心传送设备。若执行，就会冲突，是否中断？
[原因]
在中心传送设备的运行中，接收到有关支撑台的动作指示。此时为了询问处理的中断而显示此信息。
[解决]
若单击[是]，继续处理。
若单击[否]，中断处理。
Q052003 正在上升支撑台。若执行，就会冲突，是否中断？
[原因]
支撑台上升中，接收到有关传送设备的动作指示。此时为了询问处理的中断而显示此信息。
[解决]
若单击[是]，继续处理。
若单击[否]，中断处理。
I053001 请取下传送轨道上的基板。
[原因]
运行[自动调整基板宽度]时，检测到传送轨道上的基板。
[解决]
请取下基板。
I053002 请连接MTC。
[原因]
示教设置MTC滑梭吸取位置时，打算拽出MTC滑梭，但此时MTC为脱机状态。
[解决]
请连接MTC。
I053003 请连接MTS。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时MTS为脱机状态。
[解决]
请连接MTS。
I053004 请关闭MTS机箱门。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时MTS机箱门被开着。
[解决]
请关闭MTS机箱门。
E054001 没有打开MTC电源。
[原因]
示教设置MTC滑梭吸取位置时，打算拽出MTC滑梭，但此时没有打开MTC电源。
[解决]
请打开MTC电源。
E054002 MTC处于脱机状态。
[原因]
示教设置MTC滑梭吸取位置时，打算拽出MTC滑梭，但此时MTC为脱机状态。
[解决]
请连接MTC。
E054003 MTC补充状态。
[原因]
因为MTC为补充(元件更换)状态，所以不能控制。
[解决]
请把MTC转换为通常状态。
E054011 没有打开MTS电源。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时没有打开MTS电源。
[解决]
请打开MTS电源。
E054012 MTS处于脱机状态。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时MTS为脱机状态。
[解决]
请连接MTS。
E054013 主机盖被打开时，MTS不能工作。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时没有关上主机的安全盖。
[解决]
请关闭主机的安全盖。
E054014 MTS机箱门被打开。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时没有关上MTS机箱门。
[解决]
请关闭MTS机箱门。
E054015 指定阶层托盘存储箱不存在。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时指定层上的某托盘存储箱不存在。
[解决]
请安装指定层上缺少的存储箱。
E054016 MTS处于补充状态。
[原因]
MTS为补充(元件更换)状态，不能控制。
[解决]
请把MTS转换为通常状态。
E060099 不能保存在C驱动器的文件夹上。
[原因]
不能保存在C驱动器的文件夹上。
[解决]
请保存在C驱动器以外的文件夹上。
E061001 输入文字中有非法字符。
[原因]
存在非法字符。
[解决]
请输入正确的字符。
E061002 输入值超过输入范围。(输入范围:？～？)
[原因]
输入值超过输入范围。
？～？: 输入范围
[解决]
请输入有效范围内的值。
E061003 输入值超过输入范围。
[原因]
输入值超过输入范围。
[解决]
请输入有效范围内的值。
[原因]
因为解除伺服锁定(LOCK)，不能移动轴。
[解决]
请单击＜SERVO FREE＞开关，恢复伺服锁定状态。
E051003 没有输入字符。
[原因]
确定输入时，发现没有输入字符。
[解决]
请输入字符。
E051004 被选设备尚未安装，请重新选择其它设备。
[原因]
因为HOD选择的设备没有被安装(在MS参数选项上没有被设置)，所以不能进入示教状态。
[解决]
请选择已经安装好的设备。
E051005 被选设备不能移到目标位置，请重新选择其它设备。
[原因]
因为HOD选择的设备不能移到目标位置，所以不能进入示教状态。
[解决]
请重新选择可用设备。
E051006 标记识别错误。错误代码：
[原因]
用图像设备(OCC或VCS)识别标记时发生的错误。
若窗口上没有标记，则出现错误。
若标记为不发光的标记，而且没打开摄像机照明，则出现错误。
若标记为发光的标记，而且没关闭摄像机照明，则出现错误。
调整摄像机焦点、照明亮度时有问题，也会出现错误。
[解决]
请检查识别条件是否正确。
请检查摄像机焦点，照明亮度等。
检查条件或进行调整后，还发生错误的话，可以考虑图象设备出问题。请检查图象设备。
E051007 缩放比例设置失败。错误代码：
[原因]
用图像设备的OCC或VCS摄像机的缩放比例设置中发生异常。
[解决]
请检查被检测出的缩放比例。
如果检测出的缩放比例超过设置值的 ±10% ，则图像设备不接受检测值，因此显示错误。
如果不能识别好两个标记时，请检查焦点，照明亮度等。
检查条件或进行调整后，还发生错误的话，可以考虑图象设备出问题。请检查图象设备。
E051008 传送初始化失败，中断原点返回。错误代码:
[原因]
传送初始化发生错误。
[解决]
重新启动系统，确认是否运行正常。
E051009 没有完成基板宽度的返回原点，请执行返回原点后再运行。
[原因]
没有完成基板宽度的返回原点。
[解决]
请运行基板宽度调整的初始化后，再试一次。
E051010 发现搬运轨道上存在基板。
[原因]
传送通道上有基板，不能运行[自动调整基板宽度]时，显示此信息。
[解决]
请取下基板后，重新运行。
Q052001 没有执行返回原点，是否进行返回原点？
[原因]
未完成原点返回，是否执行原点返回的询问。
[解决]
若选择[是]，则执行原点返回后继续处理。
若选择[否]，则不执行原点返回后继续处理。
Q052002 正在运行中心传送设备。若执行，就会冲突，是否中断？
[原因]
在中心传送设备的运行中，接收到有关支撑台的动作指示。此时为了询问处理的中断而显示此信息。
[解决]
若单击[是]，继续处理。
若单击[否]，中断处理。
Q052003 正在上升支撑台。若执行，就会冲突，是否中断？
[原因]
支撑台上升中，接收到有关传送设备的动作指示。此时为了询问处理的中断而显示此信息。
[解决]
若单击[是]，继续处理。
若单击[否]，中断处理。
I053001 请取下传送轨道上的基板。
[原因]
运行[自动调整基板宽度]时，检测到传送轨道上的基板。
[解决]
请取下基板。
I053002 请连接MTC。
[原因]
示教设置MTC滑梭吸取位置时，打算拽出MTC滑梭，但此时MTC为脱机状态。
[解决]
请连接MTC。
I053003 请连接MTS。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时MTS为脱机状态。
[解决]
请连接MTS。
I053004 请关闭MTS机箱门。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时MTS机箱门被开着。
[解决]
请关闭MTS机箱门。
E054001 没有打开MTC电源。
[原因]
示教设置MTC滑梭吸取位置时，打算拽出MTC滑梭，但此时没有打开MTC电源。
[解决]
请打开MTC电源。
E054002 MTC处于脱机状态。
[原因]
示教设置MTC滑梭吸取位置时，打算拽出MTC滑梭，但此时MTC为脱机状态。
[解决]
请连接MTC。
E054003 MTC补充状态。
[原因]
因为MTC为补充(元件更换)状态，所以不能控制。
[解决]
请把MTC转换为通常状态。
E054011 没有打开MTS电源。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时没有打开MTS电源。
[解决]
请打开MTS电源。
E054012 MTS处于脱机状态。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时MTS为脱机状态。
[解决]
请连接MTS。
E054013 主机盖被打开时，MTS不能工作。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时没有关上主机的安全盖。
[解决]
请关闭主机的安全盖。
E054014 MTS机箱门被打开。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时没有关上MTS机箱门。
[解决]
请关闭MTS机箱门。
E054015 指定阶层托盘存储箱不存在。
[原因]
打算拽出MTS托盘，但此时指定层上的某托盘存储箱不存在。
[解决]
请安装指定层上缺少的存储箱。
E054016 MTS处于补充状态。
[原因]
MTS为补充(元件更换)状态，不能控制。
[解决]
请把MTS转换为通常状态。
E060099 不能保存在C驱动器的文件夹上。
[原因]
不能保存在C驱动器的文件夹上。
[解决]
请保存在C驱动器以外的文件夹上。
E061001 输入文字中有非法字符。
[原因]
存在非法字符。
[解决]
请输入正确的字符。
E061002 输入值超过输入范围。(输入范围:？～？)
[原因]
输入值超过输入范围。
？～？: 输入范围
[解决]
请输入有效范围内的值。
E061003 输入值超过输入范围。
[原因]
输入值超过输入范围。
[解决]
请输入有效范围内的值。
