过滤精度可达到0.22μm及以下。细菌的大小在微米级别，高精度滤芯时，细菌被拦截在滤芯表面，无法通过，从而实现除菌功能。此外，部分蒸汽过滤器还可利用蒸汽高温进行杀菌，保证过滤后气体的清洁性。