一：探针台的原理
探针台的工作原理主要基于精密的机械运动和电学测试技术。其核心部件包括探针卡、运动平台、显微镜系统和电学测试仪器等。
首先，将待检测的晶圆或者芯片放置在运动的平台上。通过显微镜系统，操作人眼可清晰的观察到芯片上的测试点然后，运动平台根据预设的程序和操作人员的控制，精确的将谭政移动到芯片上的指定测试点。探针卡上的探针和芯片上的测试点形成接触。电学测试仪器通过探针向芯片施加电信号，并测量芯片的响应，从而获取各种电学参数。
在测试的过程中，运动平台可以实现X Y Z三个方向的精确移动，以确保探针台能够准确地接触到不同位置的测试点。同时，为了确保测试的稳定性和准确性，探针台通常还配备翁都控制、真空吸附等辅助装置，以创造适宜的温度环境。
二：探针台的作用
探针台是一种在行业里广泛应用的设备，主要作用包括以下几点：
1.电气性能测试，能够对芯片、晶圆等半导体器件进行精确的电气参数测量，如电阻、电容、电感、电流、电压等，以评估器件的性能和质量
2.故障分析和诊断，帮助检测和定位半导体器件中的故障点，通过逐点测试和对比，找出可能存在的缺陷和损坏的部分
3.可靠性测试，在不同的环境条件和工作和工作状态下对器件进行长时间的测试，以评估其可靠性和稳定性
4.芯片分选，根据测试结果对芯片进行分类和筛选，将性能符合要求和不符合要求的芯片区分开来
5.研发和调试，在半导体器件的研发过程中，用于调试新的工艺和设计，优化器件性能
中科精工（http://www.ait-prime.com）的探针台可实现6/8/12英寸Wafer的全自动化运行的高精密、高可靠、可自由切换产品的晶圆级芯片测试设备晶圆级芯片测试设备，具备自动Cassette/Foup料盒自动上下料、高低温测试、探针光学视觉自动对位、打点标记等功能。

AIT探针台用于晶圆CP测试，设备采用高精度微米级运动平台、自主开发多光路高低倍率对位系统以及自研算法，先进的总线式运动控制架构，高算力的数据处理和系统控制软件，实现晶圆测试针卡和晶圆PAD的精确对准和压力接触、与测试机进行高速通信反馈、输出格式化Wafer Mapping文件等功能。