60岁，受高宗诏请，为检校僧，督造洛阳龙门卢舍那大佛及奉先寺，直到63岁完成。
69岁，时永隆二年（公元681年）三月十四日，示寂长安，神返净土。身体柔软，容色如常，空中异香妙乐，久久方歇。大众悲仰，倾城哭送，哀别之盛，闾里空巷。其弟子怀恽等，葬大师遗骸于终南山麓神禾原，立十三层“崇灵塔”，并于塔旁建香积寺，作为永志之所。高宗皇帝及武后常往敬礼，大兴供养。

西方寂静无为乐，毕竟逍遥离有无；
大悲薰心游法界，分身利物等无殊。
或现神通而说法，或现相好入无余；
变现庄严随意出，群生见者罪皆除。

观彼弥陀极乐界，广大宽平众宝成；
四十八愿庄严起，超诸佛剎最为精。

弥陀佛国真严净，三恶六道永无名；
事事庄严难可识，种种妙微甚为精。

到彼华开入大会，无明烦恼自然亡；
三明自然乘佛愿，须臾合掌得神通。

誓到弥陀安养界，还来秽国度人天；
愿我慈悲无际限，长时长劫报慈恩

六方如来舒舌证，专称名号至西方；到彼华开闻妙法，十地愿行自然彰。

归去来，魔乡不可停，
旷劫来流转，六道尽皆经；
到处无余乐，唯闻愁叹声，
毕此生平后，入彼涅槃城。

浊世难还入，净土愿逾深。
莫谓西方远，唯须十念心。

极乐无为涅槃界，随缘杂善恐难生；
故使如来选要法，教念弥陀专复专。

弥陀身色如金山，相好光明照十方；
唯有念佛蒙光摄，当知本愿最为强

相好弥多八万四，一一光明照十方；
不为余缘光普照，唯觅念佛往生人。

弘誓多门四十八，偏标念佛最为亲；
人能念佛佛还念，专心想佛佛知人

一切善业回生利，不如专念弥陀号；
念念称名常忏悔，人能念佛佛还忆。

万行俱回皆得往，念佛一行最为尊；
回生杂善恐力弱，无过一日七日念。