JJF(皖)146-2023白光干涉轮廓仪校准规范(单晶硅超光滑样块1.5nm)

单晶硅超光滑样块JJF(皖)146-2023白光干涉轮廓仪校准规范
货号：AUBAT-146
名称：单晶硅超光滑样块
参数：U≦1.5nm K=2
品牌：AUBAT
厂家：奥本精密
可定制
JJF(皖)146-2023白光干涉轮廓仪校准规范本规范适用于白光干涉轮廓仪的校准。白光干涉轮廓仪主要用于样品微纳级表面粗糙度、台阶高度等表面形貌特征的测量和分析，在纳米科学、材料科学等研究领域以及半导体、微电子等行业中广泛应用。
校准方法：
表面粗糙度（Ra）示值误差
白光干涉轮廓仪表面粗糙度示值误差选用单晶硅超光滑样块进行校准。在超光滑样块有效区域内任意选取一条中心线进行测量，按公式计算白光干涉轮廓仪表面粗糙度示值误差。按上述方法连续重复测量 10 次，按公式计算其测量数据的平均值作为白光干涉轮廓仪表面粗糙度测量结果。