日本披露华为EUV部分参数

近日，有日本研究机构披露华为EUV的部分参数：1、和目前的ASML的EUV光源相比，结构简单。2、相对于ASML的消费电力（>1000KW），华为的只要1/10（<100KW）。3、ASML的EUV光源要做到200W才能商用，而华为的EUV光源功率只要20W左右，低消耗，长寿命。4、华为的EUV光源增加了除尘，镜片，膜保护，利用率大幅提升。5、ASML的价格在200-300亿日元（1-2亿美元），而华为的只要一半价格。