与Fenton氧化、铁碳微电解、湿法氧化等方法相比，臭氧氧化法具有臭氧易溶于水、氧化还原电位高、成本低、臭氧易于现场制备等特点，可产生多种自由基破坏分子长链，降解效率高且基本无二次污染。尤其针对本项目废水悬浮物含量高的特点，采用臭氧氧化可避免Fenton氧化产生大量铁泥或造成铁碳微电解装置堵塞现象，保证工程运行的稳定性。因此，本工程拟首先以臭氧与预氧化提高废水可生化性，再通过水解酸化与A/O工艺、高密度沉淀池、返硝化深床滤池等工艺去除有机物、总氮、总磷及悬浮物。经过上述处理后水中有机物得到了极大去除，然而由于精细化工废水中的有机物难降解性，还需对剩余难降解的污染物进行针对性处理才能保证出水水质满足园区绿化、浇洒道路及周围生态林地绿化用水等多种用水水质标准要求。电化学氧化技术具有氧化能力强、灵活且易于操作、自动化程度高等特点，通过电极的精准调控与电子定向移动可强化界面反应效率，有效去除难降解有机污染物，尤其对酚类、染料类污染物去除效果好，因此在废水处理过程中，可将电化学氧化作为最后控制工艺以保证出水水质满足排放要求。
各精细化工企业废水经预处理后通过压力管道输送至调节池调节水质质量，然后与混凝剂作用在气浮池内去除废水中的胶体颗粒及油类，在进水悬浮物浓度较小时可通过超越管道直接进入臭氧预氧化池，在臭氧的作用下，废水可生化性提高。在预处理工艺中设计事故应急池，应对突发事故。经过强化预处理后的废水进入水解酸化池，在厌氧作用下颗粒物溶解为水溶性物质，再经过A/O池的缺氧、好氧作用，大部分有机物、TN及氨氮被降解或去除。经过化学除磷使TP达到排放标准，然后再进入反硝化深床滤池，废水中TN得到进一步的深度处理，最终在电化学处理车间水中难降解有机物得到彻底处理。在复氧及接触消毒池中通过投加次氯酸钠达到消毒作用，在出水段进行曝气提高尾气含氧量，防止在蓄水池缺氧导致水质恶化。各工艺阶段排出的污泥经过浓缩脱水后卫生外运。