3d光学轮廓仪通过利用白光的干涉和衍射现象，能够对微小的表面高度差异进行精确测量，并得出精准的尺寸和形态数据。
对于超光滑透明微光学器件的测量来说，3d光学轮廓仪不仅具备高精度和高分辨率的特点，还能够快速、无损地获得物体的三维形貌信息。

3d光学轮廓仪用于测量微光学器件应用案例

为获得更好的光学处理效果，需对玻璃或树脂等光学材料结构进行微纳工艺加工，如时下流行的投影仪中匀光用的激光扩散片，还有各类组成特殊图案的衍射元件，工业用光栅、特殊目的的光学器件。