清洗花篮，又名晶舟、卡匣，作为晶片清洗工艺的重要工具，在制造过程中起到承载运输晶片的作用，其材质的选择以及结构设计影响晶片生产的良率和效率。根据不同要求，清洗花篮一般由氟塑料（PTFE、PFA）、聚丙烯经过数控加工或注塑成型制成。
由于清洗花篮要与药液接触，需要考虑其耐酸碱性，因此优选化学性质稳定的材料。另外，由于花篮要与晶片相接触，为了不损伤晶片，需要表面光滑的材料，同时，为了满足有效的支撑和夹持，还要考虑其足够的刚性，不易变形。PFA清洗花篮的作用就显现出来了
它主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。PFA花篮，进入化学酸、碱蚀刻制程中，可搭配PFA把手使用
名称 规格 耐温性 应用
PFA花篮PP Cassette 2寸 -200~260℃ 酸碱传输制程
特点：
1.耐腐蚀：耐受强酸强碱
2.防污染：本底值低，金属元素铅铀含量小于0.01ppb
3.低的溶出和析出，确保晶圆芯片无污染