求求求求行业大佬，PECVD,LPCVD,氢氧氧化炉，扩散炉，

大哥们，新人小白转到半导体设备，主要做氧化，扩散，薄膜沉积设备的，公司没有培养机制，也没有项目，请问应该去哪学习这些设备的设计，目前只能看到图纸，深层设计没有，请大佬解答，万分感谢

深层的设计，通常都是工厂里面比较专业的资料，这种资料网上很难找到的

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