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国产高速机激光干涉仪工件台已经达到世界先进水平
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国产高速机激光干涉仪工件台已经达到世界先进水平
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是官方消息吗?
江玉令理
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都是哈工大的杰作
贴吧用户_0yMUZG6
麒麟980
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这个项目非常非常重要,预计24年10月底进行里程碑考核
幸运年
昇腾910
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顶级耗材
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中國東南方網友前來參觀
mygo358
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这是哪家的?
kaiwin26
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已经装上去了
贴吧用户_53381AZ
KX-7000
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哈工大的是用于EUV的,在真空中使用更好,用于DUV升级版采用的是大型平面光栅。
mihu的帐号
麒麟970
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对准才是光机的真正的核心技术,一直在看到有人说帮ASML的德国菜丝工人几代人都在打磨镜片,所以才会有如此的高精度,想想都搞笑,光机所用的物镜,是不锈钢在5轴机床上加工出来,然后再用离子抛光,就是电吹风吹平的,
双工作台与对准系统才是真正的核心技术,毕竟要刻好几次,重新让光线对到原来的位置才是真的难,尼康就是这个问题才没有用,,
昨天早上
KX-7000
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很多年前就搞定的核心部件以及测量设备
复兴吧!骚年
KX-7000
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这个是我们光刻机产业翻身的关键之一啊
-yuto-
吧主
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DUV 2100i,套刻精度控制1.3nm,哈工大这个可以满足这个范围就行
☁️人员
麒麟970
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