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cvd生长硒化物时氢气怎么通

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cvd生长硒化物,上游放硒粉瓷舟1,炉中央放另一源瓷舟2,衬底倒放其上,通入氩气与氢气(10:1)混合气体,完成反应后开盖发现:硒不仅沉积在衬底上,衬底下方的瓷舟也沉积一层硒。请问这是什么原因?


IP属地:湖南来自iPhone客户端1楼2023-07-18 00:45回复
    气体比较活跃?管子里都是硒


    IP属地:湖南来自Android客户端3楼2023-08-02 13:49
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      2025-05-14 02:03:14
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      温度太低了?


      IP属地:江西来自Android客户端4楼2024-12-26 23:47
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