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超高纯度氢气发生器

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Parker Balston H2PEMPD超高纯度氢气发生器


IP属地:浙江1楼2023-05-29 10:27回复
    派克的氢气发生器有多种型号和配置可供选择,从去离子水中产生高纯度和超高纯度的氢气。
    这种氢气应用于各种载气,燃料电池,燃料气体,反应气体和气相色谱仪。
    半导体行业中在晶体的生长与衬底的制备、氧化工艺外延工艺中以及化学气相淀积技术中,均要用到氢气。
    导体工业对气体纯度要求极高,微量杂质的“掺人”, 将会改变半导体的表面特性。


    IP属地:浙江2楼2023-05-29 10:29
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      特点与优势:
      流量高达1,300毫升/分钟,压力高达11.9巴;超高纯度,99.99999 +%,是GC和GC / MS载气应用的理想氦气替代品;
      3年标准电池保修;标准配置为自动进水连续运行;
      氢气泄漏时自动关闭;更少的维护和操作员注意力


      IP属地:浙江3楼2023-05-29 10:30
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