n2与sih4可发生氮化硅的反应，生成氨气和硅。该反应式为：3SiH4 + 4N2 → Si3N4 + 6NH3。该反应是一个非常重要的工业气相反应，因为氮化硅具有良好的热稳定性、耐腐蚀性和高强度等优良性能，在微电子、太阳能电池等领域的应用广泛。