光波干涉法是根据太阳光、人眼观察到光之间的干涉现象而得到的一种测量表面粗糙度的方法。它将一个相位不同的光束，如双色调波或其他专用束，通过一定的路径射出，照射到物体表面上，测量表面形状特性时会产生特殊的干涉图，通过对表面不同区域的观测，就可以得到精确的表面粗糙度值。干涉法的优势在于测量的准确性高，而且能够快速有效地得出表面粗糙度大小，它还可以测量平面、曲面以及其他细微表面结构，并可以检测表面细节不可见的瑕疵，用于高精度零件的表面粗糙度质量控制非常有用。