BeO一直是许多高功率微波设备的核心组件。在绝缘材料中，它超过了除金刚石以外的所有材料，因为其最接近的竞争对手氮化铝(AlN)的导热系数仅为185 W/mK，而氧化铝(Al2O3)的导热系数仅为25。除了TC之外，BeO的热膨胀系数(CTE)为9.0 ppm/°C，接近砷化镓的热膨胀系数(6.9)，这使得它更容易与使用它的设备相匹配，并且它也与金属基复合材料如铜/钨、铜/钼、铝/碳化硅和电子材料相匹配。

左为氧化锆陶瓷，右为氧化铍陶瓷
BeO的电阻率和介电强度优于AlN，与氧化铝相似。它具有6.7的低介电常数和0.0012的低损耗指数(1 MHz)，可以解决随着频率增加而出现的损耗增加问题。除了这些特性之外，BeO在氧化环境中也是固有稳定的，这与氮化物如AlN形成对比，后者随着时间的推移会分解成它们的氧化物等价物。最后，作为一种氧化物陶瓷，BeO在含氧和湿气的环境中非常稳定。陶瓷-金属接头和金属化涂层通常非常坚固和可靠，这在高可靠性军事系统的设计中是重要的。此外，BeO的抗热冲击能力也是氧化铝的11倍。
加工氧化铍陶瓷的厂家在国比较少，因为铍在提炼时是有剧毒的，所以很多加工厂家谈‘铍色变’。但是其实氧化铍陶瓷是没有毒性的，钧杰陶瓷就是就是能加工氧化铍陶瓷的厂家之一。除此之外，还有京瓷也是其中之一。