无损检测之超声扫描显微镜检查

超声波一般是指频率大于20KHz的声波,具有频率高，波长短的特性，使其能够沿着直线在介质中传播:直线传播的特性给通过超声定点扫描提供了基础。
超声波作为一种机械波，其传播是以介质材料内分子的机械振动而产生的。介质内的分子间距越小，则超声波传播的速度越快，因此不同介质的分子间距差异导致其声阻抗存在差异。这种声阻抗差异使得超声波在不同材料的界面发生可被记录的反射及透射。
超声扫描显微镜正是利用超声波的直线传播，界面反射及透射的特性进行工作。
具体而言，超声波换能器向电子元器件表面发射一束超声脉冲信号，通过耦合液向器件内部进行传播。信号每通过一层界面都会反射一部分信号由超声换能器接收进行成像，这种成像方式被称之为反射式扫描。另有一部分信号透过界面继续向下层传播，最后穿过所有界面由样品下方的信号接收探头接收，这种方式被称为透射式扫描（T扫）。
通过反射式扫码及透射式扫描，超声扫描显微镜即可记录超声波的变化从而对电子元器件进行无损检测。