氧化铝陶瓷牙叉又称陶瓷机械手臂、晶圆传输末端执行器，是由氧化铝陶瓷制成的零件，安装在晶圆搬运机器人上，相当于机器人的手，负责搬运晶圆硅晶片到指定位置，其表面直接与晶圆接触。
优点：氧化铝陶瓷机械手臂气密性高，耐磨性强，防静电、耐腐蚀、硬度高。使用温度最高可达1600度。
而且它可以长期在有酸碱腐蚀的环境中使用。陶瓷机械手臂重量轻，能有效减轻设备负荷，提高设备使用寿命。氧化铝陶瓷的硬度仅只次于金刚石，而且其耐磨性远超钢和铬钢。
氧化铝陶瓷机械手臂的耐磨性和硬度完全可以满足相关使用要求。材料价格、加工难度等经济方面来说，氧化铝陶瓷机械手臂的性价比更高。
类型：夹持式、承载式、真空吸附式、伯努利西式。