图1：传感器的实拍图
1、波前传感器的参数
参数 参数值
型号 FS1540-H300-F18-16.04
相机模式 IDS UI-1540LE-M-GL
传感器类型 数字CMOS
数据接口 USB2.0
微透镜排列方式 六角形排列
微透镜阵列间距 0.3 mm
微透镜阵列焦距 18 mm
通光孔径 ≤3.9 mm
微透镜数量 127
最大倾斜度，快速模式 0.008 rad
最大倾斜度，慢速模式 0.066 rad
重复性，RMS λ/150∗
重复性，PV λ/20∗
采集速率 ≥25 fps
处理速率，快速模式 ∼10 fps∗∗
推荐的Zernike阶数 ≤44
波长 400-1000 nm
机械尺寸 见图2
∗λ=633nm。
∗∗典型性，取决于PC的配置。
通过对多个帧进行平均，可以进一步提高可重复性数据。 要启用平均，请转到菜单“选项⇒相机”，按“属性”按钮并更正“平均超过”字段。 . . 帧”。
图2：传感器的尺寸
2、微透镜阵列
波前传感器配备有 127 个微透镜的六边形排列的微透镜阵列； 出厂前传感器已校准。 以理想六边形网格为参考时，传感器在绝对测量模式下测得的波前误差如图3（左）所示； 这个误差是由于微透镜阵列的不规则造成的。 可以通过提取相应的低阶 Zernike 项进行部分补偿； 提取结果如图 3右侧所示。
图 3：由于微透镜阵列的不规则性导致的波前传感器误差（左）； 提取掩模像差后（右）； 波长 0.63 µm。
3、使用绝对和参考测量模式
要切换到绝对测量模式，请进入菜单“选项→参数”并将“参考网格”设置更改为“六边形”。 按“确定”。 如果使用自动定义的光圈，您可以提取由微透镜阵列的不规则/未对准导致的错误，使用菜单命令“选项→提取术语”并从“fsurfer”目录加载文件“extract terms.txt” 光盘。 按“确定”完成。
要切换到参考模式，请进入菜单“选项→参数”并将“参考网格”设置更改为“从图片获取”。 按“确定”完成。 请注意，在参考模式中不需要提取错误。 使用菜单命令“选项→提取术语”并删除所有 Zernike 术语。 按“确定”完成。 建议在参考模式下使用传感器。