现在的半导体已达到纳米级，如果有细小灰尘污染，就会严重影响产品质量，甚至出现废品，所以集成电路半导体车间必须布置成无尘车间。本文以EPC工程（总承包）集成服务商CEIDI西递的某项目为例，具体分析半导体制造无尘车间环境要求。
半导体制造无尘车间洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，该项目无尘车间具体的环境参数设置如下：
1、该无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。
2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。
3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。
4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。
半导体制造无尘车间洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，该项目无尘车间具体的环境参数设置如下：
1、该无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。
2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。
3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。
4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。
