晶圆chuck盘，常见的是集成式晶圆卡盘，包括卡盘本体，卡盘本体顶面设有真空吸附口，所述卡盘本体周边均匀布置3个可伸缩式导轨，导轨上活动安装挡片，导轨上设有限位装置。
新型结构简单，设计合理，将对准装置与晶圆卡盘集成在一起，不仅可以避免对准装置独自占据设备的一定空间，还可以在晶圆存在较大偏移下进行对准操作，同时也可兼顾多种晶圆尺寸。
省去了晶圆在对准装置和工艺腔室之间来回传送的时间，有利于提高设备产能,因此成本亦可降低,设备空间利用率大大提高。