薄膜测厚仪用于测量较软或较硬材料薄膜厚度，根据测量材料可选择不同测力范围满足不同测量任务需求。低测力可达0.06N，高分辨率0.01μm。
分辨率：0.1μm测力：0.3-1.3N（根据需要选择）
分辨率：1μm测力：0.4-1.6N（根据需要选择）
分辨率：0.01μm测力：0.06-0.8N（根据需要选择）