【真空技术】真空泵

二、气体捕集泵
气体捕集泵，它是一种将被抽气体吸附或凝结在泵内表面上的真空泵。
1、吸附泵它主要依靠具有大表面积的吸附剂的物理吸附作用来抽气的捕集式真空泵，其中包括：吸附泵、吸附阱。
此外还有不断形成新鲜的吸剂膜化学吸附与物理吸附吸气离子泵，吸气离子泵如图2所示。
2、低温泵：利用低温表面来冷凝捕集真空泵。如冷凝泵和小型制冷机低温泵。


三、泵的评述
自从托里拆利发现真空至今。真空范围已从极低真空度，发展到极高真空度。但人们还没有研制出一种把容器=常数“体积”。从大气抽至高真空或超高真空范围的泵。
虽然，所有真空泵都用来减少气相分子数。但是，用来获得低压力的各类泵五花八门，但它都是“1+1”真空获得。
目前：国内外真空泵最大抽速是：
罗茨泵 kp25000 2.5×10 4升/秒
增压泵Z—1000 2.5×10 4 升/秒
扩散泵K—1200 4× 10 4升/秒～5×104 升/秒
冷凝泵 可达10 6 升/秒
若体积1×10m^3 ～1×104 m^3 的空间，如何获得真空呢？
给定空间→（V≤∞）增大。给我们常规“1+1”真空获得技术带来疑难。不可能满足“空间”无限增大的需求。由于“1+1”真空获得技术理论局限性，就促使人们研究新原理的泵。


A vacuum pump is a device that removes gas molecules from a sealed volume in order to leave behind a partial vacuum. The vacuum pump was invented in 1650 by Otto von Guericke.

真空泵分类
Pumps can be broadly categorized according to three techniques:
1. Positive displacement pumps use a mechanism to repeatedly expand a cavity, allow gases to flow in from
the chamber, seal off the cavity, and exhaust it to the atmosphere.
2. Momentum transfer pumps, also called molecular pumps, use high speed jets of dense fluid or high speed
rotating blades to knock gas molecules out of the chamber.
3. Entrapment pumps capture gases in a solid or adsorbed state. This includes cryopumps, getters, and ion pumps.
Positive displacement pumps are the most effective for low vacuums. Momentum transfer pumps in conjunction
with one or two positive displacement pumps are the most common configuration used to achieve high vacuums.
In this configuration the positive displacement pump serves two purposes. First it obtains a rough vacuum
in the vessel being evacuated before the momentum transfer pump can be used to obtain the high vacuum,
as momentum transfer pumps cannot start pumping at atmospheric pressures. Second the positive displacement
pump backs up the momentum transfer pump by evacuating to low vacuum the accumulation of displaced molecules
in the high vacuum pump. Entrapment pumps can be added to reach ultrahigh vacuums, but they require periodic
regeneration of the surfaces that trap air molecules or ions. Due to this requirement their available
operational time can be unacceptably short in low and high vacuums, thus limiting their use to ultrahigh
vacuums. Pumps also differ in details like manufacturing tolerances, sealing material, pressure, flow,
admission or no admission of oil vapor, service intervals, reliability, tolerance to dust, tolerance to
chemicals, tolerance to liquids and vibration.


真空泵的用途
Vacuum pumps are used in many industrial and scientific processes including:
=Composite Plastic moulding processes (VRTM)
=Driving some of the flight instruments in most aircraft.
=The production of most types of electric lamps, vacuum tubes, and CRTs where the device is either left
evacuated or re-filled with a specific gas or gas mixture
=Semiconductor processing, notably ion implantation, dry etch and PVD, ALD, PECVD and CVD deposition
and soon in photolithography
=Electron microscopy
=Medical processes that require suction
=Medical applications such as such Radiotherapy, Radiosurgery, Radiopharmacy
=Analytical instrumentation to analyse gas, liquid, solid, surface and bio materials
=Mass spectrometers to create an ultra high vacuum between the ion source and the detector
=Vacuum Coating for decoration, for durability, for energy saving
Glass coating for low e glass
=Hard coating for engine (as in Formula One)
=Ophthalmic coating
=Air conditioning service - removing all contaminants from the system before charging with refrigerant
=Trash compactor
=Vacuum engineering
=even in sewage system see EN1091:1997 standards
=Freeze Drying
=As the main source of vacuum in dairy shed plant 

滑阀真空泵(卷名：机械工程)
rotary plunger vacuum pump

偏心轮在泵腔内作回转运动，使由滑环和滑杆分隔的两个工作室容积作周期性变化以实现抽气的真空泵。滑阀真空泵主要由泵体、滑环、偏心轮、转动轴和滑杆组成。图为滑阀真空泵的工作原理，图中a、b、c表示工作循环。转动轴的轴心与泵腔中心重合。在滑环上固定的长方形滑杆，能在装于泵体中的滑动导轨中上下滑动和左右摆动。泵腔被滑环和滑杆分隔成A、B两个工作室。偏心轮逆时针方向旋转时，B室容积逐渐减小，吸入的气体逐渐被压缩，压力逐渐增高。同时，A室容积则逐渐扩大，其中的气体压力不断降低，被抽气体便从滑杆的腔孔源源不断地从吸气口吸入A室。当B室气体压力上升到高于大气压力时，便推开排气阀排入大气；而A室容积则达到最大值，这时吸气终了，从而完成一个工作循环。偏心轮连续不断地旋转，气体便不断地被吸入、压缩和排出而达到连续抽气的目的。在泵腔内各相对运动件表面间有油膜密封，所以这种真空泵是一种油封式机械真空泵。
滑阀真空泵极限压力：单级泵为0.4帕，双级泵为0.065帕；工作压力范围为1×105～13帕；抽速范围为8～600升/秒（1升＝10-3米3）。滑阀真空泵可单独作用或作为真空机组的前级泵。如安装气镇阀，可抽含有少量可凝性蒸汽的气体。滑阀真空泵在真空冶炼、真空干燥、真空浸渍和真空蒸馏等方面都得到广泛应用。


余摆线真空泵
trochoidal vacuum pump
余摆线型转子在泵腔内作行星运动，使工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵。它主要由泵体和转子构成。图为余摆线真空泵的工作原理和传动机构。转子的型线为余摆线，泵腔型线为转子型线的外包络线。转子上的内齿轮与固定在泵盖上的小齿轮啮合。当转动轴旋转时，偏心轮即带动内齿轮(即转子)绕小齿轮作行星运动。泵体Μ点永远与转子表面接触，将泵腔分隔成两个工作室A和B。转子逆时针方向旋转，与排气口相通的B室内的气体逐渐被压缩，压力逐渐升高。当压力升高到大气压力时，气体即推开排气阀排出泵外。同时，A室内的气体压力则逐渐降低，于是被抽气体从吸气口源源不断地吸进，直至吸气口被转子表面隔离而终了。转子连续不断地旋转，泵即连续抽气。在泵腔内各运动件表面间用油膜密封，所以这种泵是一种油封式机械真空泵。余摆线真空泵的极限压力可达 1帕，在压力为103～13帕时可达到额定抽气速率。工作压力范围为105～1帕。

余摆线真空泵由于结构复杂、制造困难，推广使用受到一定的限制。但它运转平稳，噪声小，体积和重量小(与相同抽速的滑阀真空泵比较体积和重量均减小1／3)，比功率小。它同其他油封式机械真空泵一样，可单独使用或作为扩散泵和增压泵等的前级泵。因此，在真空冶炼、真空热处理、真空干燥和真空浸渍，以及化工和食品工业中均可用它作为抽气设备。

罗茨真空泵Roots vacuum pump
靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似，工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。
这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触，间隙一般为0.1～0.8毫米；不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高，加工精度易于保证，故转子型线多用渐开线型。
罗茨真空泵的转速可高达3450～4100转/分;抽气速率为30～10000升/秒（1升=10-3米3）；极限真空：单级为6.5×10-2帕，双级为1×10-3帕。罗茨真空泵的特点是：启动快，耗功少，运转维护费用低，对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感，在100～1帕压力范围内有较大抽气速率，能迅速排除突然放出的气体。这个压力范围恰好处于油封式机械真空泵与扩散泵之间。因此，它常被串联在扩散泵与油封式机械真空泵之间，用来提高中间压力范围的抽气量。这时它又称为机械增压泵。
罗茨真空泵广泛用于真空冶金中的冶炼、脱气、轧制，以及化工、食品、医药工业中的真空蒸馏、真空浓缩和真空干燥等方面。


液环真空泵
liquid ring vacuum pump
靠偏置叶轮在泵腔内回转运动使工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵。它的工作室由旋转液环和叶轮构成，其结构和工作原理与液环压缩机相似。工作时吸气口接被抽真空容器。泵腔内如充的是水则称为水环真空泵。
水环真空泵结构简单，制造容易，工作可靠，使用方便，耐久性强，可抽除腐蚀性、含尘气体和气水混合物。被抽气体温度以-20～40℃为宜。循环水不应含有杂质。水环真空泵的抽气速率范围为0.25～500米3／小时；极限压力：单极泵为8×103～2×103帕，双级泵为2×103～1×102帕。
水环真空泵主要用于真空蒸馏、真空干燥和水泵引水等方面。


钛升华泵
titanium sublimation pump
靠新鲜钛膜的化学吸附作用抽气的真空泵。这种泵具有结构简单、抽速大、无油污染、抗辐射和无振动噪声等特点，启动压力为1～10-2帕，工作压力范围为10-2～10-8帕，是获得无油超高真空的重要真空泵。钛升华泵在电子器件、高能加速器、可控热核反应装置和空间模拟装置，以及表面物理试验等方面都得到广泛的应用。

    
【结构】   
钛升华泵主要由泵体和升华器组成(图1)。泵体材料为不锈钢。泵体采用水或液氮冷却。泵体高度与泵口直径之比一般为1～2，水冷却取大值，液氮冷却取小值。依使用的钛材形状和加热方式不同，升华器有多种结构形式。图2a、 b分别是纯钛丝和钛钼合金丝直接通电加热的升华器。这两种升华器的结构简单，成本低；但钛升华率或蒸发率（指单位时间内单位面积升华的量）低，利用率也很低（约为40％）。图2c是辐射加热的钛球升华器。它由薄壳钛球和内部的钨丝加热器组成。这种升华器升华率大、利用率高（约达70％）。在大型泵里装有几个钛球，平均升华率可达2.5克／时，抽气速率达数十立方米每秒。此外，还有电子轰击加热钛片升华器和钛棒升华器等。

【工作原理】   
钛升华泵的抽气机理是化学吸附。升华器升华的钛沉积在冷的泵体壁面上，形成新鲜的钛膜，对氮、氧和一氧化碳等活性气体有比较强烈的吸附作用（见表），并形成氮化钛、碳化钛和氧化钛等稳定的化合物，但对惰性气体和甲烷几乎不吸附。钛膜吸附气体只能是单分子层的，在已吸附气体分子的位置上不能再吸附气体。因此，钛升华器必须不断地升华，使泵体壁面上不断地沉积新的钛膜，才能达到连续抽气的目的。
为了克服钛升华泵吸附惰性气体差的缺点，通常把它与溅射离子泵（见吸气剂离子泵）配合使用或组合成复合钛泵，这样就可发挥各自的长处。钛升华泵的抽气速率大，离子泵能抽惰性气体和甲烷，可获得更低的极限压力。如先用能抽惰性气体氩和活性气体的分子筛吸附泵作为预真空泵，用这3种泵组成机组，抽气时无油污染、无振动噪声，是获得无油超高真空的重要方法。
    
【影响性能的因素】   
钛升华泵的抽气速率与被抽气体的种类及其压力、钛的升华率、钛膜面积和钛膜温度等因素有关。在压力高时，泵的抽速决定于升华率。为获得大的抽气速率，压力越高升华率应越大，但在低压力下太大的升华率是不必要的。在 10-7帕压力时的升华率只有10-3帕时的1％即可。在超高真空时常采用断续升华，如10-8帕时每隔几小时才升华1分钟。经彻底烘烤去气的泵，用水或液氮冷却对极限压力的影响不大，但对抽气速率的影响很大。液氮冷却的抽气速率一般比水冷却的大1～4倍。

    
【使用要求】   
启动钛升华泵需要1～10-2帕的预真空，同时进行烘烤去气（泵每次暴露于大气压后都要进行烘烤去气）。烘烤去气是获得超高真空的必要条件。泵经彻底烘烤去气后，可以获得低的极限压力和缩短达到极限压力的抽气时间，还能使泵壁更清洁，沉积的钛膜不易脱落和避免放气等。一般以300～400℃温度烘烤12～24小时。泵启动后泵壁不宜马上冷却，应让升华的钛在其上沉积几分钟后再冷却，这样钛膜就不易脱落。 

油扩散泵(卷名：机械工程)
oil diffusion pump
利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升／秒（1升＝10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
    
【简史】   
1915年，德国物理学家W.盖得发表了他研究的扩散泵报告。1916年，美国人I.朗缪尔制成泵壁带有冷却系统的所谓冷凝泵。这些泵以汞蒸气为工作介质可获得10-5帕真空。1928年，英国人C.D.伯尔奇发现高沸点的石油衍生物，1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。这两种油在室温下的饱和蒸气压都非常低，从而取代了汞作为扩散泵的工作液。从此油扩散泵在高真空领域的工业生产和科学试验中就日渐普遍使用，并奠定了高真空技术的基础。
60年代开始，油扩散泵又有了新的发展。主要的改进是：①泵的材料采用放气量甚小的不锈钢。②采用饱和蒸气压很低、热稳定性好的油如聚苯醚和硅油作为泵的工作液。③改革结构，新型油扩散泵在泵口法兰不变和不过分增大泵的外形尺寸条件下，在法兰下部突出地扩大泵腔的断面，其抽气速率可增大20～40％。如在此装设一个大直径扩散喷嘴和液氮冷却的大直径挡油帽等。泵可有通常泵（指没有扩大泵腔断面的泵）的抽气速率，并比较彻底地克服了泵的返油而获得低于10-8帕清洁超高空。因此，油扩散泵在清洁超高真空的工业生产和科学试验中又取得重要的地位。
    
【结构和工作原理】   
油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成（见图）。当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时，油锅可开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。到前级，油蒸气被冷凝，释出气体分子，即被前级泵抽走而达到抽气目的。

    
泵油的蒸气压直接影响泵的真空性能。但油扩散泵所使用的任何泵油，都是蒸气压不同的多组分的混合物。因此，要提高油扩散泵的抽气和真空性能，泵在工作中自身还要对泵油进行分馏和净化。分馏目的是使高蒸气压组分的油不进入高真空工作喷嘴（高真空端的喷嘴）；净化目的是使高蒸气压组分的油在工作过程中不断为前级泵所抽除，使油逐渐趋于纯净。
    
泵油分馏主要是利用泵油各组分的蒸发温度不同，使它们分别在不同的锅炉面积上蒸发。当工作后冷凝回流的泵油流到有保温罩部分的泵壁时，油即得到预加热，随即流到油锅周边，经锅底环形加热器加热，轻馏分的油达到蒸发温度便在外层蒸发而进入低真空工作喷嘴 (靠近前级泵的喷嘴);未能蒸发的某些轻馏分油也因比重较其他馏分油小而浮到油面上。由于外层蒸气导管的限制，这部分馏分蒸发后仍进入低真空工作喷嘴。重馏分的油在外层蒸气导管中因未达到蒸发温度而未蒸发，遂从外层由锅底间的缝隙流到油锅中心蒸发，进入高真空工作喷嘴。轻、重馏分的油蒸气这样分道供给低真空工作喷嘴和高真空工作喷嘴这一过程谓之分馏。从喷射喷嘴喷出的油蒸气在前级得不到充分的冷却，蒸气中的轻馏分即未能完全冷凝而被前级泵抽除。如此循环工作，泵油中的轻馏分便越来越少，重馏分的比例则越来越大，泵油便逐渐趋于纯净。这一过程谓之净化。泵油的分馏和净化，对提高泵的极限真空有重要作用。
    
【泵油】   
在泵结构一定和无漏气的前提下，油扩散泵的抽气特性和极限真空主要取决于泵油的性能。泵油种类很多，下表为几类主要泵油及其特性。



涡轮分子泵
turbomolecular pump
利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。
    
【结构和工作原理】   
1958年，联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵，以后相继出现了各种不同结构的分子泵，主要有立式和卧式两种，图1为立式涡轮分子泵的结构图。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米／秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同，但叶片倾斜角相反。图2为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙，动叶轮可在静叶轮间自由旋转。



图3为一个动叶片的工作示意图。在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。在叶轮左侧（图3a），当气体分子到达A点附近时，在角度α1内反射的气体分子回到左侧；在角度β1内反射的气体分子一部分回到左侧，另一部分穿过叶片到达右侧；在角度γ1内反射的气体分子将直接穿过叶片到达右侧。同理，在叶轮右侧（图3b），当气体分子入射到B点附近时，在α2角度内反射的气体分子将返回右侧；在β2角度内反射的气体分子一部分到达左侧，另一部分返回右侧；在γ2角度内反射的气体分子穿过叶片到达左侧。倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片到达右侧，比从右侧穿过叶片到达左侧的几率大得多。叶轮连续旋转，气体分子便不断地由左侧流向右侧，从而产生抽气作用。
    
【性能和特点】   
泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108～109;对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕，工作压力范围为10-1～10-8帕，抽气速率为几十到几千升每秒（1升＝10-3米3）。涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000～60000转／分的中频电动机直联驱动。


低温泵
cryopump
利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
    
【抽气原理】   
在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。
①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于 25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。
②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚 (10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8 帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。
③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。
    
一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。图1为某些气体的蒸气压力 -温度关系曲线。从图中可以看出温度为120K时，水的蒸气压已低于10-8帕。温度为20K时，除氦、氖和氢外，其他气体的蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同，泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，低温板为20K时，泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。

    
【类型】   
低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。
    
① 注入式液氦低温泵：主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成（图2）。为了减少液氦消耗，液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽到10-6 帕压力时灌入液氮和液氦，气体凝结在4.2K的工作冷板上。经预抽使氦氢分压到10-12帕数量级，故泵可获得10-11帕以下的极限压力。如果把液氦容器抽真空减压到6650帕，液氦温度可降到2.3K，则可得到更低的极限压力。

    
② 闭路循环气氦制冷机低温泵：它是70年代出现的新型低温泵（图3）。这种泵不消耗氦气、操作简便，易于维修，应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦，一级冷板温度为50～100K，用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10～20K，用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。活性炭的比表面积为500～2500米2／克，在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成，表面抛光达到镜面程度，以减小辐射系数。泵的极限压力为10-7～10-8帕，工作压力范围为10-1～10-7帕，要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升／秒（1升=10-3米3）。此外，尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内，其抽气速率可达到106升／秒以上。

    
【热负载】   
低油泵的热负载主要是气体的凝结热和周围壁面对工作冷板的辐射热。凝结热与气体种类有关，对于 80K、133.322帕·升的氮气冷凝在20K冷板上的凝结热为0.3～0.6焦耳。工作冷板接受的辐射热与周围壁面板温度和工作冷板温度两者 4次方之差成正比。因此，4.2K和20K工作冷板均用50～100K的冷板来屏蔽，以减少工作冷板所接受的辐射热。


油扩散喷射泵
oil diffusion ejector pump
利用高压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限压力约10-2帕，工作压力范围一般为1.0～10-1帕，抽气速率范围为几百到几万升每秒，最大反压力为几百帕，是获得中真空的主要设备之一。油扩散喷射泵广泛用于真空冶炼、空间模拟试验、真空镀膜和对油污染不敏感的一些真空系统中。在真空系统中，它可以用作为主抽泵，也可串联在油扩散泵与机械真空泵之间，用来提高抽气系统在中间压力范围的抽气量和降低前级机械真空泵的抽速容量。因此它又常称为油增压泵。

    
同油扩散泵一样，它也由扩散喷嘴、喷射喷嘴、泵体、扩散器、油锅、蒸气导管、冷却系统和加热器等部分组成（见图）。但在性能和泵的结构上，它同油扩散泵有不同之处。两者的极限真空不同，油扩散泵为10-4～10-5帕以至低于10-5帕，而油扩散喷射泵则为10-2帕。油扩散泵在10-1～10-4帕压力范围内要求有满抽速，而油扩散喷射泵则要求在1～10-1帕压力范围内有满抽速。如两者名义抽速相同，后者的排气量就比前者大。油扩散泵装设有分馏和净化装置，而油扩散喷射泵不但不要装分馏和净化装置，还要采用较大的加热功率加热和采用沸点低、饱和蒸气压高的泵油，致使油扩散喷射泵的油锅蒸气压比扩散泵大数倍或数十倍，即高达数百帕以至数千帕。油扩散喷射泵需要装设大扩张率(喷嘴的出口面积与其喉部面积之比)的喷射喷嘴和长的扩散器来提高泵的前级反压力，这样泵就能稳定地在10-1～1帕压力范围或在更高一点的压力范围工作。因此，油扩散喷射泵是兼具油扩散泵和喷射泵（见水蒸汽喷射真空泵）抽气性能的真空泵。
在工作中，为了防止泵油的氧化，油扩散喷射泵的启动也与油扩散泵一样，要用前级泵预抽到1帕真空，油锅才可开始加热。