SK海力士M16位于京畿道利川，是其第一条采用先进的EUV设备的生产线，SK海力士M16工厂利用EUV产线，也在推进第四代10nm级DRAM量产，预计2021下半年开始量产1α nm DRAM。此外，除了三星和SK海力士，美光1αnm DRAM计划将在2021上半年量产8Gb DDR4，新建的A3也有望在2021年投产。不过，美光目前暂时还在评估EUV设备导入的时间节点，主要是考虑到整体经济效益，因为EUV设备造价不菲，设备单价超过1.3亿美金。
DRAM市况乐观，SK海力士DRAM业务比重高达7成，M16新厂助力业务提升SK海力士是全球主要的NAND Flash和DRAM芯片供应商，在业务结构中，DRAM营收占比高达7成以上，而NAND Flash营收占比在25%左右。2019年全球存储市场需求疲软，2020年又遭遇“疫情”冲击，相较于2017年、2018年，SK海力士近两年获利减少。在NAND Flash方面，2020年SK海力士收购了英特尔将NAND SSD业务、NAND组件和晶圆业务以及中国大连NAND工厂，将可助力SK海力士在SSD市场应用进一步扩大。
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