日本大明化学 TM-DAR TM-5D，用于静电卡盘的陶瓷层烧结及电极层共烧，可少量添加板状氧化铝粉末交替层叠，对晶粒生长进行取向（NTK/NGK）
另有应用于半导体设备各种零部件的耐蚀涂层的材料如下：
日本钇公司 氧化钇 氟化钇 氟氧化钇 YOF YF3
日本住友化学 AKP-15 AKP-20 AKP-30 AKP-50 AKP-53
日本住友化学 高纯氧化铝 AA-18 AA-10 AA-5 AA-3 AA-2 AA-1.5 AA-07 AA-05 AA-04 AA-03 AA-03F
主要用于半导体刻蚀设备、液晶面板、涡轮叶片等领域的耐蚀涂层的氟化钇 YF3、氟氧化钇 YOF，氧化钇材料，来自NYC 日本钇公司（日本三井集团子公司）
高纯氧化铝，来自日本大明化学、住友化学
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