“准确的”露点测量在相当大程度上取决于环境温度，然而不同的地域位置存在着环境温度波动问题，即使在短短的24小时内相对温度也会再现剧烈变化。因此，露点不应当被作为独立的气体纯度指标。氧化锆氧分析是一种基于微处理器的通用型仪器，以武汉华敏的氧化锆氧分析系统为例，使用于密闭环境下，用于测定PPM级别的氧含量，如果工艺气体供应管路中出现大于5ppm的氧含量时，就将给出报警提醒。