(2)喷淋+低温等离子净化工艺
废气先通过喷淋净化塔过滤分离大分子有机物，然后再通过低温等离子净化设备，利用等离子体内部产生富含极高化学活性的特点，使用高压放电装置在放电时产生高能电子和离子，将空气中的氧分子进行分离，氧分子吸收能量后产生游离态的氧离子，有机废气污染物与游离氧基团发生反应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
此种方法具有适用范围广，净化效率高，设备占地面积小特点，适用于其他方法较难处理的有机废气体;但由于采用高压放电装置，在含水、含尘、有机废气浓度较高的密闭空间易发生爆炸，存在安全隐患，因而限制了其使用。

(3)燃烧法工艺
燃烧法只在挥发性有机物在高温及空气充足的条件下进行完全燃烧，分解为CO2和H2O。燃烧法适用于各类有机废气，可以分为直接燃烧、热力燃烧和催化燃烧。
排放浓度大于5000mg/m³的高浓度废气一般采用直接燃烧法，该方法将VOCs废气作为燃料进行燃烧，燃烧温度一般控制在1100℃，处理效率高，可以达到95%一99%。
热力燃烧法适合于处理浓度在1000—5000 mg/m³的废气，采用热力燃烧法，废气中VOCs浓度较低，需要借助其他燃料或助燃气体，热力燃烧所需的温度较直接燃烧低，大约为540—820℃。燃烧法处理VOCs废气处理效率高，但VOCs废气若含有S、N等元素，燃烧后产生的废气直接外排会导致二次污染。
通过热力燃烧或者催化燃烧法处理有机废气，其净化率是比较高的，但是其投资运营成本极高。因废气排放的点多且分散，很难实现集中收集。燃烧装置需要多套且需要很大的占地面积。热力燃烧比较适合24小时连续不断运行且浓度较高而稳定的废气工况，不适合间断性的生产产线工况。催化燃烧的投资和运营费用相对热力燃烧较低，但净化效率也相对较低一些;但贵金属催化剂容易因为废气中的杂质(如硫化物)等造成中毒失效，而更换催化剂的费用很高;同时对废气进气条件的控制非常严格，否则会造成催化燃烧室堵塞而引起安全事故。

(4)喷淋+UV光解净化工艺
废气先通过喷淋净化塔过滤分离大分子有机物，然后再通过UV光解净化设备利用高能UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧(即活性氧)，因游离氧所携带正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧，臭氧具有很强的氧化性，通过臭氧对有机废气、恶臭气体进行协同光解氧化作用，使有机废气、恶臭气体物质降解转化成低分子化合物、CO2和H2O。
UV光解法具有高效处理效率，可达到95%以上;适应性强，可适应中低浓度，大气量，不同有机废气以及恶臭气体物质的净化处理;产品性能稳定，运行稳定可靠，每天可24小时连续工作;运行成本低本，设备耗能低，无需专人管理与维护，只需作定期检查。UV光解法因采用光解原理，模块采取隔爆处理，消除了安全隐患，防火、防爆、防腐蚀性能高，设备性能安全稳定，特别适用于采油(气)田、石油化工、制药等防爆要求高的行业。