请问谁了解六氯二硅烷是做什么用的【化学爱好者吧】_百度贴吧

01月23日漏签0天

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请问谁了解六氯二硅烷是做什么用的

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六氯二硅烷不是六氯乙硅烷，别看错啊

送TA礼物

IP属地:河南

1楼2019-09-06 19:55回复

六氯二硅烷就是六氯乙硅烷，只是不要和乙硅烷混淆。
主要用于无定形硅薄膜沉积，如ALD，CVD作为半导体、太阳能等行业应用，另外在光化学纤维和硅氧烷上面也有应用。

2楼2020-05-23 09:57

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