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陶瓷薄片的流延成型工艺概述

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宋占永 , 董桂霞 , 杨志民 , 马舒旺
摘要 概述了流延成 型工艺的特点及发展历程 , 比较了水基流延成型与传 统流延成型技术的优缺 点 。 针对特 定的流延成型工艺过程进行 了详细的介绍和理论分析 , 同时介绍了几种新型的流 延工艺 。 最后对流延成型 技术的研 究和应用进行了展 望 , 并提出了自己的见解 。
关键词 陶瓷 传统流延成型 水基流延成型
流延成型是指在陶瓷粉料中加入溶剂、 分散剂、 粘结剂、 增塑剂等成分 , 得到分散均匀的稳定浆料 , 在流延机上制得 所需厚度薄膜的一种成型方法 , 具有以下优点 : 可制备单 相或复相陶瓷薄片材料 ; 缺陷尺寸小 ; ! 产品成分起伏小 , 性能稳定 ; ? 生产效率高 , 可连续操作 ; #均可大、 小批量生 产 , 适于工业生产 ; ? 适于成型大型薄板陶瓷或金属部件 , 这 类部件几乎不可能或很难通过压制或挤制成型 , 而通过流延 成型制造各种尺寸和形状的坯体则十分容易 , 而且可以保证 坯体质量。
1947年 H ow at t [1]等首次用流延成型法来生产陶瓷片层 电容器 , 并于 1952年取得专利。传统流延成型工艺的不足 之处在于所使用的有机溶剂具有一定的毒性 , 使生产条件恶 化并造成环境污染 , 且生产成本较高。研究人员开始更加青 睐绿色环保的水基流延成型 , 目前有研究者已研究出水基凝 胶流延成型、 紫外引发聚合等一些新流延成型工艺。国际上 已能成型厚度为 3 m 的产品 [2], 另有研究者在普通流延成型
机上成型了厚度为 12 m ~3mm 的薄片 [2, 3]

流延成型法由于具有设备简单、 可连续操作、 生产效率 高、 坯体性能均一等特点 , 已成为制备大面积、 超薄陶瓷基片 的重要方法 , 被广泛应用在电子工业、 能源工业等领域 , 如制 备 Al 2O 3、 AlN 电路基板 , BaT iO 3基多层电容器及 ZrO 2固体 燃料电池等。流延成型技术为电子元件的微型化以及超大 规模集成电路的实现提供了广阔的前景。
1 流延工艺的分类
按浆料选用的溶剂及有机添加物不同 , 流延成型分为有
机流延体系和水基流延体系 2类。有机流延溶剂多采用乙 醇、 甲乙酮、 三氯乙烯、 甲苯和二甲苯等 , 最常用的有乙醇 /甲 乙酮、 乙醇 /三氯乙烯、 乙醇 /甲苯、 甲苯 /正丁醇等二元共沸 溶剂。采用有机流延体系具有分散剂、 粘结剂选择范围广 , 浆料粘度低 , 溶剂挥发快 , 干燥时间短 , 所得生坯结构均匀 , 表面平整 , 强度高柔韧性好等优点。该体系最大的缺点就是 采用了大量具有一定毒性的有机溶剂 , 对人的健康和自然环 境带来危害 , 且成本较高。相比而言 , 水基流延体系具有无 污染、 绿色环保的优点 , 但可溶于水的分散剂和粘结剂种类 少 , 因此可选择的范围较窄 , 效果较差 , 同时还存在水溶剂的 表面张力大、 对粉料的浸润性差、 容易产生大量气泡、 除气较 困难及干燥和脱脂过程中坯体易变形开裂等缺点。
2 流延用料及选择
流延成型用到的原料主要包括陶瓷粉料、 溶剂、 分散剂、 粘结剂、 增塑剂 , 必要时还需要除泡剂和匀化剂等。
陶瓷粉料的外观物理参量是决定流延成品质量的关键 因素 , 粉料的选择原则是 :(1) 严格控制陶瓷 粉体的杂质含 量。陶瓷粉体的化学组成和特性会影响甚至能控制最终烧 结材料的收缩率和显微结构 , 所以必须严格控制陶瓷粉体中 的杂质含量。 (2) 严格控制陶瓷粉体的颗粒尺寸和形貌。陶 瓷粉体的颗粒尺寸和形貌对颗粒堆积以及浆料的流变性能 会产生重要影响。为了使成型的素坯膜中陶瓷粉体颗粒堆 积致密 , 粉体的尺寸必须尽可能小。但另一方面 , 颗粒尺寸 越小比表面积越大 , 浆料制备时所需的有机添加剂越多 , 导
致素坯膜的排胶困难 , 干燥和烧结后收缩率增加 , 降低最终 烧结陶瓷的体密度。陶瓷颗粒尺寸的最佳范围一般为 1~4 m , 比表面积为 2~5m 2/g [4], 颗粒形貌以球形为佳。 溶剂的主要作用是溶解粘结剂、 增塑剂和其他添加剂 , 分散粉粒 , 并为浆料提供合适的粘度。在溶剂的选择上首先 要考虑以下几个因素 :(1) 能很好地溶解分散剂、 粘结剂和增 塑剂 ; (2) 能分散陶瓷粉料 ; (3) 在浆料中保持化学稳定性 , 不 与粉料发生化学反应 ; (4) 提供浆料合适的粘度 ; (5) 能在适 当的温度下蒸发与烧除 ; (6) 保证素坯无缺陷固化 ; (7) 使用 安全 , 对环境污染少且价格便宜 [5]。
分散剂通过空间位阻稳定或静电位阻稳定机制 [6, 7]使陶 瓷粉末在浆料中处于悬浮状态。粉料颗粒在流延料浆中分 散均一与否直接影响素坯的质量及其烧结特性 , 从而影响烧 结体的致密性、 气孔率和机械强度等一系列特性。分散剂的 分散效果是决定流延制膜成败的关键。表 1是常用的分散 剂和粘结剂。
表 1 常用的分散剂和粘结剂
T able 1 T he comm on dispersant s and binder 分散剂 粘结剂
有 机 流 延体系 磷酸 酯、 乙 氧 基化 合
物、 三油酸甘油酯、 鲱
鱼油
PVB 、 聚丙 烯酸甲酯、 乙基纤维素和聚甲基 丙烯酸
水 基 流 延体系 聚丙 烯酸、 聚 甲基 丙
烯酸及其铵盐
PVA 、 丙烯酸乳液、 聚 丙烯 酸铵 盐、 聚 醋 酸 乙烯酯
粘结剂是为了分散于陶瓷粉粒之间 , 连接颗粒 , 使流延 片具有一定的强度和可操作性。选择粘结剂需要考虑的因 素有 :(1) 素坯的厚度 ; (2) 所选用溶剂的类型及其匹配性 , 应 不妨碍溶剂挥发和不产生气泡 ; (3) 易于烧除 , 不留残余物 ; (4) 能起到稳定浆料和抑制颗粒沉降的作用 ; (5) 有较低的塑 性转变温度 , 以确保在室温下不发生凝结 ; (6) 与衬垫材料不 相粘和易于分离 [8]。
增塑剂的加入是为了保证素坯膜的柔韧性 , 降低粘结剂 的玻璃化转变温度 , 使粘结剂在较低的温度下 , 链分子在外 力的作用下卷曲和伸展 , 增加形变量 , 表 2为常用的粘结剂 及与其对应的增塑剂。
表 2 常用的粘结剂及其对应的增塑剂
T able 2 T he comm on binder and its
corresponding plasticizer
粘结剂 增塑剂
乙基纤维素 二乙基草酸酯
PVA 甘油、 聚乙二醇 (PEG)
PVA c +PVC 邻苯二甲酸二丁酯 (DBP) 、 聚乙二醇
PVB 邻苯二甲酸二丁酯、 聚乙二醇、 邻苯二甲酸二辛酯 (DOP)
PM MA 、 PEM A 聚乙二醇、 邻苯二甲酸二丁酯 丙烯酸共聚物 丁 (基 ) %苄 (基 ) 苯二甲酸酯 乳胶 邻苯二甲酸二丁酯、 聚乙二醇、 甘油 此外 , 在流延成型时 , 为了调节浆料性质 , 往往加入一些 其他添加剂 , 如除泡剂、 匀化剂及脱模剂等。这些有机用品 用量虽少 , 却能极大改变浆料的性质和流延膜的质量。
3 流延成型工艺过程
流延法制备过程主要包括浆料制备、 流延成型、 生坯干 燥、 脱脂以及烧结几个环节。具体工艺流程如图 1
所示。
图 1 流延成型工艺流程图
3. 1 浆料的制备
流延成型浆料是一个比较复杂的系统 , 主要由陶瓷粉 体、 溶剂、 分散剂、 粘结剂、 塑性剂及其它添加剂组成。在制 备时要满足以下几个要求 :(1) 尽可能降低有机物的含量 ; (2) 在满足浆料流变性的要求下尽量提高固相含量 ; (3) 在满 足浆料分散性的要求下尽量降低分散剂的含量 ; (4) 优化增 塑剂和粘结剂的比例 , 使坯体具有足够的柔韧性和强度 [4]。 浆料的制备是流延成型的关键步骤 , 分为 2个阶段 , 首 先将溶剂、 粉料和分散剂按一定配比混合并进行充分球磨 , 打开颗粒团聚体并使溶剂湿润粉料。随后加入粘结剂和增 塑剂进行二次球磨 , 使浆料具备一定的强度和可操作性。如 果溶剂为水基 , 还需调节浆料的 pH 值 , 以提高分散剂的分散 效果。有时为了改善浆料的性质还会加入一些其他功能性 添加剂。粉料的颗粒尺寸和比表面积决定了溶剂和添加剂 的用量 , 比表面积越大对应的溶剂和分散剂的用量就越多。 因为需要大量的溶剂去分散浆料和大量的分散剂去包覆粉 料。颗粒尺寸越大 , 比表面积越小 , 粘结剂的用量相对就越 多 [9]。固相体积分数高 , 浆料的粘度急剧增大 , 浆料的流动 性也随着固相体积分数的增加而急剧减小。此外 , 浆料的粘 度还与剪切速率有关 [10]。对于不同固相体积分数的浆料 , 分 散剂的最佳用量也有很大差异 , 随着固相体积分数的增加 , 分散剂的最佳用量也相应增加。
吴音等 [11]的研究发现 , 通过改变增塑剂和粘结剂的比值 R 可以调节浆料的粘度。浆料粘度随 R 值的增大而降低 , 但 随 R 值的增大 , 素坯的粘度将减小 , 陶瓷薄片密度减小。认 为 R 值控制在 0. 6~0. 8之间有利于提高流延生坯成品率及 烧结体质量。
3. 2 流延成型
将配置好的浆料静置一段时间后 , 在流延装置上进行流 延成型 (流延装置示意图如图 2所示 ) 。通过控制刮刀与基 板的高度调整流延速度 , 可流延出不同厚度的流延膜。
3. 3 坯片的干燥
流延出的浆料膜经过干燥才能从基板上剥落下来。制定合适的干燥工艺是获得高质量膜带的重要因素 , 尤其是在 水基流延体系内 , 干燥工艺尤为重要。如果干燥工艺制定不 当 , 流延膜就会经常出现气泡、 针孔、 皱纹、 干裂 , 甚至出现 不易从基板上脱落等缺陷。流延膜在一个有空气流动的密 闭容器中干燥 , 应缓慢升高干燥温度。脱脂温度应根据有机 添加成分的物理性质来制定 , 以保 证有机成分充分分解挥 发。制定合理的烧结温度 , 最终可得到结构致密、 成分均一、 表面光洁的流延膜。
4. 1 水基凝胶流延成型工艺
水基凝胶流延成型工艺 [15, 18]是利用有机单体的聚合原 理进行流延成型。该法是将陶瓷粉料分散于含有有机单体
和交联剂的水溶液中 , 制备出低粘度、 高固相体积分数的浓 悬浮体 (体积分数大于 50%), 然后加入引发剂和催化剂 , 在 一定的温度条件下引发有机单体聚合 , 使悬浮体粘度增大 , 从 而导致原位凝固成型 , 得到具有一定强度、 可进行机加工的坯 体。水基凝胶流延成型所使用的浆料由陶瓷粉、 有机单体、 交 联剂、 溶剂、 分散剂、 塑性剂等组分配制而成。凝胶流延成型 工艺的优点在于可极大地降低浆料中有机物的使用量 , 提高 浆料的固相含量 , 从而提高素坯的密度和强度 , 大大减轻环境 污染 , 并显著降低生产成本。
图 4 凝胶流延成型工艺
由于空气中的氧阻止了单体的聚合 , 不能形成胶体 , 陶瓷坯体的表层容易出现裂纹甚至脱落。马景陶等 [16]在原有 体系中加入适量 PVA, 避免了干燥过程的开裂 , 去除了气体 保护程序 , 简化了工艺条件。
4. 2 紫外引发聚合物成型工艺
基于水基流延成型所存在的不足 , 人们在成型机理上进 行了改进。 T. Chart ier 等 [17,18]应用紫外引发原位聚合机制 , 在浆料中加入紫外光敏单体和紫外光聚合引发剂 , 成型时引 发聚合反应 , 使浆料原位固化达到成型的目的 , 从而可以免 去最为复杂、 最易导致成型失败的干燥工艺。具体工艺流程 见图 5。与传统的流延成型工艺相比 , 紫外引发聚合流延成型 工艺的最大特点是不使用溶剂因而不需要干燥工序。成型工
艺过程可以在普通流延机上提供紫外光源的条件下完成。
5 结语
随着近几年层状材料及梯度复合材料的研究和开展 , 流 延成型工艺被广泛应用。有研究表明 , 利用流延片叠层后制 备的陶瓷块体材料 , 其某些性能优于直接由粉体制备的块体 材料 [19]
。另外流延片尺寸易于控制 , 加工方便 , 省去了大量 的加工程序 , 节省了时间和人力。因此 , 将流延成型工艺与 LOM (L aminated object m anufact uring) 方法相结合 [20]
进行
新材料的研究与开发 , 将具有广阔的应用前景。
我国对流延成型技术的研究起步较晚 , 与国外先进水平
相比还存在一定的差距 , 现阶段流延成型技术的研究仅停留 在成型性能方面 , 对其它性能 (包括物理、 化学、 力学等性能 ) 方面的研究还不够深入。许多关键技术 , 诸如水基流延干燥 技术等还没有得到很好的完善。因此 , 流延成型技术还需要 进行更深入的探索和研究。


1楼2018-05-03 16:42回复


    2楼2021-05-25 09:47
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      一、什么是流延
      流延方法就是,在粉料中加入粘合剂、溶剂等,经球磨、过滤后进行真空脱泡并把粘度控制在一定范围。这种有粘性的浆料在恒定的压力下,通过浆料刮刀与涂有有机硅的以一定速度运行的膜带之间的缝隙而流粘在膜带上,经连续烘干、切边,在流延机机尾把坯带与膜带进行分离(或不分离),分别卷绕得到生坯带的方法。然后再进入下一道工序,如切割、叠层、印刷、烧结等做成所需产品,而形成的流延制备的工艺。
      流延机是指制作流延膜用的专用设备。采用高精密电子陶瓷流延机运用氧化铝作为陶瓷流延的主要原材料先把粉碎好的粉料与粘结剂、增塑剂、分散剂、溶剂混合制成具有一定黏度的料浆,料浆从料斗流下,被刮刀以一定厚度刮压涂敷在专用基带上,经干燥、固化后从上剥下成为生坯带的薄膜,然后根据成品的尺寸和形状需要对生坯带作冲切、层合等加工处理,制成待烧结的毛坯成品。具有成本低、质量高、无毒害、生产工艺简单等优点。可直接添加专业人士(vx:uaibaba888)
      流延工艺中,最关键的是浆料的制备和流延成型工艺。
      二、流延的应用
      通过球磨等一系列工序除去浆料中的有机或无机残渣即可得到稳定均匀的流延浆料,将制备好的流延浆料在流延机上流延成型,经干燥、裁剪、脱脂和烧结即可完成。
      三、浆料中常用的添加剂
      1、溶剂
      选择溶剂主要考虑的因素有:
      (1)必须能溶解其它添加成分,如分散剂、粘结剂和塑性剂等;
      (2)在料浆中具有一定的化学稳定性,不与粉料发生化学反应;
      (3)易于挥发与烧除;
      (4)使用安全、卫生和对环境污染少。
      最常用的溶剂分为有机溶剂与水两类。
      有机溶剂所得的料浆粘度低,溶剂挥发快,干燥时间短,所以流延法制膜中使用有机溶剂较多。常用的有乙醇、甲乙酮、三氯乙烯、甲苯、二甲苯等。但有机溶剂有易燃和有毒的缺点。
      水作溶剂则有成本低、使用安全、卫生和便于大规模生产等优点,其缺点是:
      (1)对粉料颗粒的湿润性能较差、挥发慢和干燥时间长;
      (2)料浆除气困难,气泡的存在会影响素胚膜的质量;
      (3)水基料浆所用粘结剂多为乳状液,市场上产品较少,使粘结剂的选择受到限制。溶剂对粉料的湿润性能主要与其表面张力有关,表面张力越小,对粉料颗粒的湿润性能越好。
      有机溶剂的表面张力比水要低得多,所以其湿润性能比水好。混合溶剂的表面张力和介电常数等综合性能较单一组分要好,且沸点低,对分散剂、粘结剂和塑性剂的溶解性能也较佳。为确保干燥过程中同时挥发,流延浆中常用二元共沸混合物。最常用的有乙醇/甲乙醇、乙醇/三氯乙烯、乙醇/水和三氯乙烯/甲乙酮等。
      2、分散剂
      粉料在流延浆料中的分散均匀性直接影响着素胚膜的质量,从而影响材料的致密性、气孔率和力学性能等一系列特性。流延法制膜中常用的分散剂有非离子、阴离子、阳离子和两性离子4 种类型。
      一般说来,阴离子表面活性剂主要用于颗粒表面带正电的中性或弱碱性料浆,而阳离子型表面活性剂主要用于颗粒表面带负电的中性或弱酸性料浆。通过对70 种商用分散剂分散效果的试验研究表明,磷酸脂、乙氧基化合物和鲜鱼油在陶瓷粉料浆液中的分散效果佳。其中前面2 种是阴离子型表面活剂,而鲜鱼油不属于表面活性剂。
      3、粘结剂与增塑剂
      为了与基板材料分离和拿放方便,流延膜必须具有一定的强度、韧性和延展性。为此,在料浆中须加入粘结剂和塑性剂。
      选择粘结剂应考虑的因素有:
      (1)素胚膜的厚度;
      (2)所选溶剂类型及匹配性,有利于溶剂挥发和不产生气泡;
      (3)应易烧除,不留有残余物;
      (4)能起到稳定料浆和抑制颗粒沉降的作用;
      (5)要有较低的塑性转变温度,以确保在室温下不发生凝结;
      (6)考虑所用基板材料的性质,要不相粘结和易于分离。粘结剂按起作用的官能团类型分为非离子、阴离子和阳离子3 类。
      在流延工艺中使用最多的是阴离子与非离子型的粘结剂,可直接添加专业人士(vx:uaibaba888)
      主要有乙烯基与丙烯基2 类。在非水基料浆中常用的粘结剂有PVB ,聚丙烯酸甲脂和乙基纤维素等。在水基介质中常用的粘结剂有聚乙烯醇、丙烯酸乳剂和聚丙烯酸胺盐等。
      塑性剂在料浆中的主要作用是降低粘结剂的塑限温度Tg,使Tg 达到室温或室温以下,从而确保粘结剂在室温时具有好的流动性和不发生凝结。另外,塑性剂对粉体颗粒还起润滑和桥联作用,有利于料浆的分散稳定,但加入塑性剂会使素胚膜的强度降低。最常用的塑性剂有聚乙二醇、邻苯二甲酸脂、乙二醇等,它们对料浆流变性的影响作用不甚相同。邻苯二甲酸脂能润滑粉体颗粒,降低料浆粘度,而聚乙二醇则在粉体颗粒间形成有机桥,能增加料浆的粘度。
      4、其它添加剂
      此外,在流延浆料的制备过程中,还经常加人一些功能性的有机物添加剂,产生一些特殊的浆料性质或理想的干带性质。
      除泡剂:主要在高分子溶液(PVA )或高分子分散体系易产生有害的稳定泡沫的水介质中有用,特别是搅拌过程中(如用特殊的蜡,或用真空搅拌)。防止泡沫产生要比消除泡沫有效得多。常用的除泡方法是机械法加上化学法。即在浆料中加人除泡剂,然后进行真空搅拌除气。常用的除泡剂是正丁醇、乙二醇各半的混合液。
      润湿剂:主要是溶于液相的表面活化剂,用来减小液体表面张力(特别是水),提高它们对粉料和被作用物的润湿性。因此,表面活性剂也被用作分散剂。
      均化剂:用于增加组分的相互溶解性(如环己酮), 由此防止干燥时起皮。它们也增加基片的密度和拉伸强度。
      控流剂:有时加人少量来防止基片的表面干燥太快,防止开裂。
      絮凝剂:防止分散体系形成过高密度沉淀的试剂。
      四、有关流延成型工艺
      流延是一项相当精密的工艺,对于流延后的产品质量要求十分严格,以下几点可供参考:
      1.刮刀的表面光洁度
      流延刮刀一般用工具钢制成,它的耐磨性好,使用寿命长,但需注意保养,每次使用后必须清洗干净,并防止硬物刮伤表面,使刮刀保持光滑平整。光滑平整的刮刀是获得厚度均匀,表面光滑膜带的关键。
      2.浆料槽液面高度
      浆料槽液面高度提高,浆料槽内的压力增大,使浆料通过刮刀间隙的流入速度增加,流延膜厚度增加,因此维持液面高度均衡一致对控制流延膜厚度均匀性十分重要。大型的流延设备中通常需要带有液面传感器,控制供浆阀门,控制液面高度变化在最小的幅度。
      3.浆料的均匀性
      流延用浆料必须充分分散均匀,当有未分散好的硬块、团聚体又未能过滤掉时膜带上就会产生疤痘状缺陷,或因干燥烧成收缩不同产生凹陷。因此必须重视浆料的制备,在使用前必须过筛去除这些硬块和团聚体。如果浆料中有气泡,流延前必须进行除泡处理。可直接添加专业人士(vx:uaibaba888)
      4.流延厚度
      刮刀间隙的厚度与实际烘干成型厚度,不会一致,应为在烘干过程中有溶剂等的挥发,在浆料稳定,流延其他条件如流速,干燥温度一定的情况下,通常会有一个稳定的比例。一般可以通过流延试验得到有效的参数。
      5.制定并执行最佳的干燥工艺
      流延出的浆料膜经过干燥才能从基板上剥落下来。因此,制定合适的干燥工艺是获得高质量膜带的重要因素。如果干燥工艺制定不当,流延膜常会出现气泡、针孔、皱纹、干裂,甚至不易从基板上脱落等缺陷。制定干燥工艺的原则是:确保溶剂缓慢发挥,使膜层内溶剂的扩散速度与表面挥发速度趋于一致,防止表面过早硬化而引起的后期开裂、起泡、皱纹等缺陷。
      五、 流延工艺的优势以及操作
      自动化程度高,生产效率高。产品质量好,合格率高。可直接添加专业人士(vx:uaibaba888)为您最更详细的介绍。
      在购买了流延机之后,先要做的一般都是先对产品说明书做详细的了解。大部分的机械设备都会有一些专用的也是专业的操作名词和流程,而这些通常是在我们日常生活中少见甚至是见不到的。所以仔细了解产品的说明书对于这方面有着非常大的帮助。了解机械和基本功能和控制操作是使用流延机的基础。
      其次在使用的过程中,要注意一些细节。如流延机周围的水渍,由于水能导电,而流延机本身是带电产品,所以要防止漏电事故的产生。其次为了保证机械设备的正常工作,日常中的维护的保养也是必不可少的。
      而对于如此巨大的设备,如果没有正确的操作方法,不仅生产会变得不方便,甚至还给操作人员带来一定的安全隐患。下面我们就来了解一下正确操作大型流延机。可直接添加专业人士(vx:uaibaba888)
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      检查流延机各辊的转动、压力是否正常,换热系统、泵及各压力表是否可以正常的工作等。
      用穿膜厚片将各辊穿好,然后将激冷辊处于闭合状态,压住膜片。
      启动流延机,检查厚片与熔体是否已经粘牢平整,然后朝着人员站在出口处拉紧厚片。
      调整合适的工作位置,认真将各项操作仔细完成。
      生产结束后,手动调节流延机至非工作位置,然后将物料导入接料盘,停止流延机。


      IP属地:河北3楼2021-10-22 11:52
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        IP属地:河北6楼2021-10-27 09:58
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