工艺流程原理：
变压吸附的原理是在吸附平衡情况下，任何一种吸附剂在吸附同一气体时，气体压力越高，则吸附量越大，反之，压力越低，则吸附量越小。PSA制氮设备的核心部分是碳分子筛，在空气压力升高时，碳分子筛将大量吸附氧气、二氧化碳和水分，当压力降到常压时，碳分子筛对氧气、二氧化碳和水分的吸附量非常小。
制氮装置的技术指标：
流量1-3000Nm3 /h，
纯度95%-99.9999%，
压力≤1.0MPa，
露点≤-40℃.