真空热处理所需的氮气，有各种不同的来源。由于液氮的密度远比氮气大，体积远比氮气小，便于运输和贮躲，而且在大量供给时价格也较便宜。所以，液氮是真空热处理所用氮气的重要来源之一。一般情况下液氮运输和储存都是存放在液氮罐中。
　　真空热处理是国内外正在采用的比较先进的热处理方法，在真空热处理中，往往离不开使用氮气。例如，当钢铁件在真空炉中加热时，若真空程度过高，则为防止工件材料中的合金元素挥发，需对炉中回充适量的氮气，以提离炉内微量气体的压力。
　　又如，在真空加热油淬的真空淬火过程中，有时为了保证或进步淬火油的冷却能力，需在工件冷却之前，向真空炉中回充足够的氮气。