高温介电阻抗谱仪又可以称之为高温介电测量系统。该系统是为了满足材料在高温环境下的介电性能测量需求而设计的。它由硬件设备和测量软件组成，包括高温测试平台、高温测试夹具、阻抗分析仪和高温介电测量系统软件四个组成部分。
高温测试平台是为样品提供一个高温环境；高温测试夹具提供待测试样品的测试平台；阻抗分析仪则负责测试各组参数数据。最后，再通过测量软件将这些硬件设备的功能整合在一起，形成一套由实验方案设计到温度控制、参数测量、图形数据显示与数据分析于一体的高温介电温谱测量系统。
高温介电阻抗谱仪可测量陶瓷、薄膜、半导体等块状材料的高温介电特性。可同时测量及输出频率谱、电压谱、偏压谱、温度谱、介电温谱的测量数据与图形。测试频率为DC-30MHz。
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