今天算是第三次使用一块新的二硼化钛靶材（烧结制备，导电良好），直流磁控溅射400W，10分钟后靶面刻蚀跑道区域零星打火，打火后该区域出现或明或暗的小条纹，过一会儿条纹会消失，后续打火依旧，打火瞬间电压降低。沉积结束后检查靶面无异常。请问这回事什么原因呢，是真空室脏异物导致？还是靶材本身成分不均匀，或者疏松气孔导致氧化呢？谢谢！