高频电源维修范围：刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等工艺设备电源维修，进口设备工业电源、中科院射频电源、高频电源、美国AE电源维修 ,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源 CLX系列低频电源等。http://www.hbtongke.com
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