1 、 按照 PLC 程序抽低真空：紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运行正常后（大约 1-2 min ），打开通向炉体的低真空阀即上碟阀，预先对炉体抽低真空。
2 、 按照 PLC 程序抽高真空：打开下碟阀，对扩散泵进行抽气，当真空度达到 15 Pa 以下后，系统自动开启扩散泵进行预热，一般经过 45 min 左右扩散泵开始其作用，就可以关闭上碟阀，同时开启主阻挡阀待真空度达到 1.33 × 10Pa 以上，才可以开启加热按钮对样品进行加热。
A ：真空计有两个量程表，低真空量程 1.0 × 10-1.0 × 10 ；高真空量程 1.0 × 10-1.0 × 10, 一般在 2Pa 开始转换量程 。 注意充大气进去前 ， 应关闭真空计开关 ， 防止真空计老化 。 真空计的检定周期为 1 年 。 炉子不用时一般处于真空状态！真空炉冷却水 100 ℃ 以下才可停止冷却水泵
更多内容参考：http://www.zzcyky.com/zk/201501261.html
2 、 按照 PLC 程序抽高真空：打开下碟阀，对扩散泵进行抽气，当真空度达到 15 Pa 以下后，系统自动开启扩散泵进行预热，一般经过 45 min 左右扩散泵开始其作用，就可以关闭上碟阀，同时开启主阻挡阀待真空度达到 1.33 × 10Pa 以上，才可以开启加热按钮对样品进行加热。
A ：真空计有两个量程表，低真空量程 1.0 × 10-1.0 × 10 ；高真空量程 1.0 × 10-1.0 × 10, 一般在 2Pa 开始转换量程 。 注意充大气进去前 ， 应关闭真空计开关 ， 防止真空计老化 。 真空计的检定周期为 1 年 。 炉子不用时一般处于真空状态！真空炉冷却水 100 ℃ 以下才可停止冷却水泵
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