光纤传感器与传统的各类传感器相比有一系列独特的优点,如灵敏度高,抗电磁干扰,耐腐蚀,电绝缘性好,防爆,光路有可挠曲性,结构简单,体积小和重量轻等.所以,光纤传感器已经成为机载光学传感器的必然发展趋势. 加拿大Roctest公司生产了一种商业用途的光纤位移传感器(Fiber-Optic Linear Position & Displacement Sensor, FO-LPDS),这种传感器使用了Fizeau干涉仪解调专利技术(US patent #5202939/#5392117),具有结构简单,精度高和响应快的优点,目前已经在土木工程领域得到了成功的应用.本文将详细介绍该种传感器的原理 和用途. 二, 组成结构和工作原理 1,传感器结构 传感器的简略结构如图1所示,其连杆可以水平方向移动,在连杆上固定了薄膜Fizeau干涉仪(TFFI),它的详细构造如图2所示. 2,工作原理 (1)光信号调制 实际使用时将传感器与读数器(Demodulator)连接,读数器中白光二极管光源发出的光从连接读数器的光纤的一端入射,传输到连接Fabry- Perot传感器,再由多模光纤射出,照射在TFFI干涉仪(光楔)的表面.当TFFI水平移动时,照点的位置也会不同.光楔上下两个表面都镀有半反射 膜,因而构成了Fabry-Perot腔体.当读数器发射的白光的一部分被第一个半反射镜反射后,其余的白光穿过Fabry-Perot腔体,且再一次被 第二个半反射镜反射回来,两束反射光相互干涉,使得原来入射白光的光谱被调制.