光清洗助力设备能力精进
光清洗技术是利用有机化合物的光敏氧化作用达到去除黏附在材料表面上的有机物质，经过光清洗后的材料表面可以达到“原子清洁度”。更详尽的讲：UV光源发射波长为185nm和254nm的光波，具有很高的能量,当这些光子作用到被清洗物体表面时,由于大多数碳氢化合物对185nm波长的紫外光具有较强的吸收能力, 并在吸收185nm波长的紫外光的能量后分解成离子、游离态原子、受激分子和中子，这就是所谓光敏作用。空气中的氧气分子在吸收了185nm波长的紫外光后也会产生臭氧和原子氧。臭氧对254nm波长的紫外光 同样具有强烈的吸收作用,臭氧又分解为原子氧和氧气。其中原子氧是极活泼的,在它作用下,物体表面上的碳和碳氢化合物的分解物可化合成可挥发的气体：二氧化碳和水蒸气等逸出表面，从而彻底清除了黏附在物体表面上的碳和有机污染物。清洗时，使基板治湿性向上。玻璃基板是以滚轮方式输送，上方装置低压水银灯产生紫外线照射。玻璃基板所累积紫外线能量愈多，其表面水接触愈小，成反比关系。一般STN-LCD制作过程中，需求的玻璃基板累积紫外线能量为300nj/cm2(253.7nm)以上。而彩色STN-LCD及彩色滤光片制作过程中，要求的玻璃基板累积紫外线能量为600nj/cm2(253.7nm)。在TFT-LCD制作过程中，除了低压水银灯产生臭氧清洗玻璃外，目前制程的主流是，使用Excimer Lamp,其172nm波长紫外线的高反应性质对玻璃的清洗效率更好。
光清洗的技术应用范围主要在液晶显示器件、半导体硅芯片、集成电路、高精度印制电路板、光学器件、石英晶体、密封技术、带氧化膜的金属材料等生产过程中采用光清洗方法最为合适。
主要材料：ITO玻璃、光学玻璃、铬板、掩膜板、抛光石英晶体、硅芯片和 带有氧化膜的金属等进行精密清洗处理。可以去除污垢：有机性污垢、人体皮脂、化妆品油脂、树脂添加剂及聚酰亚胺、石蜡、松香、润滑油、残余的光刻胶等。
此UV光源在LCD工艺中又具有UV改质(紫外光表面质变)的特点，目前在液晶显示器STN的生产过程中，主要是用在膜处理技术上，对于改善膜与膜之间的密接是非常有效的，如ITO膜与感光胶膜层，TOP涂层与PI涂层等等。另在研究部门又可用来UV改性塑料材料产品，用于纳米技术研究，产品经此UV光照射发生化学反应，使产品表面性质改变。STN-LCD、彩色滤光片及OLED的制作过程中，有些制程设备相当雷同，差别在于制造工艺要求的不同。随着线路的精细化及产品的彩色比，LCD产业对制造工艺的要求也不断地提升，而有“工欲善其事，必先利其器”之需求，因此只有设备能力不断地精进，才能提高生产的质量与效率。
日光灯的物理
我们如何看见光与分辨颜色的？谈论发光体之前，请先了解我们的眼睛是如何看见光与分辨颜色的？
不同的光源会产生不同波长的光。如果不清楚我们的眼睛如何区分不同波长的光？请先看彩色的世界由于太阳光会同时刺激我们眼睛中三类对颜色敏感的细胞，因此感觉起来太阳光是『白』光。因此『白』光光源也要能够对眼睛模拟相同的刺激。发出白热光的（钨丝）电灯虽然也能产出各种不同波长的光。但是由于钨丝的温度无法达到像太阳表面一样5800℃的高温，因此辐射出的眼睛所感受到电磁波波谱部份长波长的红光比较强烈。事实上，有绝大多数的电磁波更是分布在人眼睛所感受不到的红外光区段---- 也就是我们皮肤能感受到的电灯的『热』辐射。关于日光 我们先将主题分为三方面：
1. 日光灯如何将电能转化为光（能）。
2. 日光灯所串接的『安定器(ballast)』是提供什么作用？
3. 日光灯是如何启动的？
关于前两个主题，对于所有的日光灯都是相同的。第三主题则因日光灯的种类而有所不同。当然共同的内容部份先谈。


日光灯管简单的说是个密闭的气体放电管。管内主要气体为氩(argon)气(另包含氖neon或氪krypton)气压约大气的 0.3%。另外包含几滴水银形成微量的水银蒸汽。水银原子约占所有气体原子的千分之一的比例。藉由管内导通的电流(电子被加速），形成气体放电状态，而发出『光』。日光灯管是靠着灯管的水银原子 藉由气体放电的过程释放出紫外光（主要波长为 2537埃 = 2537*10-10 m）所消耗的电能约60%可以转换为紫外光。其它的能量则转换为热能。藉由灯管内表面的荧光物质吸收紫外光后释放出可见光。不同的荧光物质会发出不同的可见光。一般紫外光转换为可见光的效率约为40%。因此日光灯的效率约为60% * 40% = 24% --- 大约为相同功率钨丝电灯的两倍。
可见光波段 连续光谱
氢气的吸收光谱
氢气的发射光
将连接电池两端的导线靠近时，『啪』的一声，火花与声响出现了。这是一种气体放电的过程。放电过程如果没有控制好，那可是会出事的！为什么呢？日光管内在一开始尚未有自由电子时，是很不容易导通电流的。藉由后面会介绍产生电子的方法产生电子后。由于电极间降所形成的电场而加速电子。当这些电子被加速后，会和气体原子产生频繁的碰撞。由于电子的质量远小于气体原子的质量，因此多数的碰撞过程中电子并没有损失能量，只是一直改变运动方向。在某些碰撞过程中，电子的能量足够游离管内气体的电子，产生新的电子及离子对。这些被游离的电子及离子对继续被加速，也就会继续的游离，如此循环则管内变成越来越容易导通电流，也就是说管内的电阻会突然下降许多（内部形成电浆态）于是可以导通大量的电流。甚至会导致灯管破裂 --- 如何控制是我们第二个主题内容。
当然游离的过程中，电子与离子对也会发生中和的现象（减少导通的离子）。当产生离子的速率大于中和的速率时，放电过程才会发生。在少数与水银气体的碰撞过程中，会使得水银原子吸收电子的部份动能。而转换成较不稳定的激发态，经由一连串的重新分布能量，藉由释放出电磁波，而恢复为原来稳定的状态。详细的过程, 牵涉到原子的结构以后再详谈。总而言之：水银原子吸收了电子的动能，而转换为电磁波辐射出来。当水银回到最稳定状态(Ground State)时, 释放出波长为2540埃的紫外光。可是这些紫外光可是无法穿透日光灯管壁的。(穿透比例很少）更别说眼睛细胞感受不到紫外光的『颜色』讯号。于是只好藉由灯管内壁的荧光物质--能够吸收紫外光，然后释放出更长波长的可见光。当然也包含了部份的红外光。好奇怪喔！原本不透紫外光的管壁，涂上荧光物质后反而可以透光！到底释放出哪些波长，则由荧光物质的原子结构决定。因此灯管内壁的混合了多种的荧光质，以便产生多种的可见光，同时能够刺激眼睛内三种感光的细胞。混合的比例不同，也就产生『不同颜色』感受的日光灯光。光部份较多的荧光灯管虽然效率较高，但是感觉起来较冷（阴森）。家中使用通常选多一些红光部份的荧光灯管，比较有温暖的感觉。效率却也就低了些（想想看为什么？）
以下是一般日光灯三种不同色系的光谱分布
以下是采用三波长荧光粉（阳光灯管）的不同类型灯管所发出光的分布。
采用稀土族荧光体，集中三原光 蓝(452nm)绿(543nm)与红(611nm)
三个狭窄光谱组合成白色光。详细光谱分布如下。：
DEX型：三波长昼光色(色温度6500K)
光色有透明、白色、凉爽等感觉。
适用于餐厅、婴儿房、店铺及夏季之照明。
NEX:三波长昼白色(色温度5000K)
光色介于DEX与LEX之间
能使物体看起来更美、更接近自然光。
适用于明亮舒适气氛的住宅、店铺、
办公室等照明。
LEX三波长灯泡色(色温度2800K)
与电灯泡同光色，具有暖活舒适的光色。
适用于住宅、店铺、旅馆，
也可以与电灯泡并用。
依照特殊用途灯管有有下列种类：


1. 医疗专用灯管：
波长 400-500nm波峰值446nm的特殊蓝光灯管，
此蓝光可以有效抑制黄疸症状，
最适合于保温箱内照射患有黄疸之婴儿。
2. 半导体专用灯管：
防止紫外线透出，500nm以下完全切除。
最适合于高感光半导体的无尘室工厂照明及防虫用。
3. 反射型灯管：
整支灯管空出 1/5 不涂荧光粉并加涂反射膜在荧光粉内层，
使光线集中在 1/5 的面积输出，适于广告看版背光光源。
4. 夜光消防灯管：
在一般荧光粉上涂有夜光磷光粉，当点灯数分钟后熄灯，
仍可维持约两小时强度 5cd/m2的微弱蓝光，
适用于戏院、歌厅、车站、医院等公共场所之照明。
接下来谈谈日光灯的线路 -- 控制调节系统。我们前面谈到，日光（荧光）灯是靠气体放电过程发光的。当灯管内气体放电时，还好我们在日光灯管外串接了一个 『安定器』，缓和大量电流的导通。这个『安定器』到底是何方神圣有如此的功能！虽然安定器只能减缓电流的变化，幸好我们使用的是交流电。只需要延缓非常短的时间, 电源电压就会自动降为零（然后再升起）。安定器的额外附送功能是帮助日光灯的启动。我们也该谈谈最初是如何引发放电的呀！
日光灯的线路：
日光灯启动的问题在于，日光灯正常工作时的电压不足以产生气体放电。日光灯启动的方式有好几种，有些日光灯两端有灯丝(和电灯一样的钨丝）。
1. 预热式的启动：只有当启动时加热灯丝，启动后电流中电子撞击电极时能产生足够的电子。当按下开关时, 让电流流经灯丝，待灯丝加热至能够产生足够的热电子时，这些逃脱灯丝的电子，经灯管两端的电压（场）作用而加速 => 碰撞 => 游离更多电子 => 加速=> ...循环，于是原本不易导电的气体灯管，突然变成容易导电的游离气体。于是放电过程开始进行了！（放电过程如前所述）在加热的过程中，一直试图产生放电过程（于是启动时，两电极附近会看见明灭交错的微弱灯光）但是通常电源电压仍然不足以启动放电过程。某些日光灯启动时，你需先按下开关一下子（加热灯丝），当松开手时，放电才会产生。（如下图）当松开开关时，回路电流遽然改变于是『安定器』感应出高电压而引发放电过程。(安定器帮助日光灯启动的功能)有些日光灯利用简单电子开关(glow switch)，俗称启动器（Starter)达到上述手按下后松开的作用。如图：一个小的霓虹灯，不过其中一电极是由双金属片制成（受热会弯曲）。两电极间原先并不接触，但距离很短。当电源电压在电极两端时，产生放电（看得见红红的颜色）而导通。导通时也同时使得电流流经灯丝（使灯丝加热）。由于放电使得电极温度增高而弯曲，进而使两电极接触。电极接触后，反而由于放电过程不再发生而逐渐降温。使得金属片又再度分开。此时『安定器』产生的高压，由于电极已经产生足够的电子，而在日光灯管内放电。于是小霓虹灯开关的电极电压也就下降了。不会在重复放电。当日光灯启动后拿掉启动器（霓虹灯开关）并不会影响其继续工作。只有在启动时需要它。
2. 快速启动型：当电源导通时，也同时加热灯丝（灯丝一直处于加热状态）。当足够电子产生时，便导通电流。
3. 瞬间启动型：并没有灯丝，完全靠『安定器』产生的高压造成放电（加一升压变压装置），因此能瞬间导通。如图日光灯管内需有足够电场加速电子，因此长度越长的灯管需要越高的电压。通常管内的水银还带正电。游离的正离子也会吸引电子，减少他们因相互排斥而撞击管壁（荧光质）。
日光灯管的寿命通常取决于电极的消耗。当放电时，电极的原子会被高能量的水银离子撞击(sputtering)出来而损耗。电子不是也会撞击电极吗？而这种损耗在启动时最严重，（两极间有高电压存在）。有人问到：为何日光灯用久了，两头会黑黑的？你想：电极在什么地方？当电极被撞击而蒸发出来会附着在那里呢？气壁原来涂了荧光剂，被盖住后则还能转换紫外光为可见光吗？想一想：电灯泡用久了是不是也有类似的情形呢？又是什么原因呢？通常经过几千次启动后电极便失效。所以应该避免常常开关日光灯。当工作温度低于15℃时, 发光效率会降低。当高于40℃时则会产生过多不产生光但耗电的游离。内部所添加的氩气，氖或氪等气体是为了较容易启动放电过程。


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